Yスケールセンサ100は図1には図示されていないが、レーザビームの副走査方向に沿う相対的移動距離即ち描画テーブル18のX方向に沿う移動を計測して検出するものであり、それ自体は周知ものである。XDP-INとしてスケーリング補正制御回路84の副走査方向スケーリング補正処理回路(図7)に入力される。P-IN.【0068】次に、図9に示すフローチャートを参照して、本発明によるレーザ描画装置の作動について説明する。invention.【0069】先ず、ステップ901において、描画テーブル18が適当にX方向に沿って移動させられ、基板のY方向の一方の側辺に沿う一対の位置決めマークが2つのCCDカメラ80によって撮られる。ステップ902では、該一対の位置決めマークの座標データが読み取られる。read.【0070】ステップ903では、描画テーブル18が再び移動させられ、基板のY方向の他方の側辺に沿う一対の位置決めマークが2つのCCDカメラ80によって撮られる。ステップ904では、該一対の位置決めマークの座標データが読み取られる。read.【0071】ステップ905では、読取り座標データに基づいて、先に述べたような種々データが演算される。基づいて、描画テーブル18が描画開始位置に位置決めされると共にレーザビームによる主走査方向の走査開始位置が決定され、これにより被描画体に対する走査範囲が確定される。されるので、かかる主走査方向の基準走査範囲内には10万画素が配列される。909において、描画がスタートされる。started.【0073】ステップ910では、図10に示すようなサブルーチン即ち主走査方向スケーリング補正処理ルーチンが実行される。executed.【0074】ステップ1001では、演算データΔSYの正負が判断される。1002に進み、そこで第1のクロックパルス出力順序が設定される。それらクロックパルスの位相は正側に順次シフトされる。1003に進み、そこで第2のクロックパルス出力順序が設定される。YCK-SFT2の順序で出力される。それらクロックパルスの位相は負側に順次シフトされる。なった場合には、ステップ1003に進む。94からYスケール読取りデータCyが所定の時間間隔でサンプリングされて順次更新される。1005では、データCyがそのサンプリング毎に演算データYtと比較される。1006に進み、そこで主走査方向の描画が未だ完了していなければ、ステップ1004に戻る。Yt,ステップ1007に進み、そこでクロックパルスの切換が行われる。<0であれば、第2のクロックパルス出力順序に従う。sequence.【0079】次いで、ステップ1008に進み、そこでカウンタtは+1だけカウントアップされると、ステップ1004に戻される。1009に進み、そこでカウントtがリセットされる。Then,ステップ911に戻る(図9)。9).【0081】ステップ911では、図11に示すようなサブルーチン即ち副走査方向スケーリング補正処理ルーチンが実行される。executed.【0082】ステップ1101では、演算データΔSXの正負が判断される。1102に進み、そこで第1の駆動制御パルス出力順序が設定される。andXCK-SFT2の順序で出力される。それら駆動制御パルスの位相は負側に順次シフトされる。1103に進み、そこで第2の駆動制御パルス出力順序が設定される。それら駆動制御パルスの位相は正側に順次シフトされる。なった場合には、ステップ1103(駆動制御パルスの位相は正側にシフト)に進む。to.【0085】ステップ1104では、Xスケールセンサ100からXスケール読取りデータCxが所定の時間間隔でサンプリングされて順次更新される。ステップ1105では、データCxがそのサンプリング毎に演算データXsと比較される。値に到達したか否かが確認され、もし到達していなければ、ステップ1106に進み、そこで副走査方向の描画が未だ完了していなければ、図10のステップ1001に戻される。Xs,ステップ1107に進み、そこで駆動制御パルスの切換が行われる。<0であれば、第2の駆動制御パルス出力順序に従う。sequence.【0087】次いで、ステップ1108に進み、そこでカウンタsのカウント値が+1だけカウントアップされた後、図10のステップ1001に戻される。