12に戻され、そこで描画テーブル18が原点位置に復帰させられる。[0089]【発明の効果】以上の記載から明らかように、本発明によるレーザ描画装置にあっては、個々の被描画体の寸法変動に対して適正なスケーリング補正処理を施し得ると共にそのスケーリング補正処理をラスタデータの一画素以下の単位で行うことができるので、被描画体の寸法変動に拘らず、高精度でのパターンの描画が可能である。DRAWINGS【図1】本発明によるレーザ描画装置の一実施形態を示す概略斜視図である。FIG.【図2】図1のレーザ描画装置のブロック図である。FIG.【図3】被描画体の寸法変動の検出を説明するための概念図である。member.【図4】図2に示したスケーリング補正制御回路の一部を構成する主走査方向スケーリング補正処理回路を示すブロック図である。FIG.【図5】主走査方向スケーリング補正処理の際に用いられるクロックパルスのタイムチャートである。process.【図6】図2に示したビーム位置制御回路の詳細ブロック図である。FIG.【図7】図2に示したスケーリング補正制御回路の一部を構成する副走査方向スケーリング補正処理回路を示すブロック図である。FIG.【図8】副走査方向スケーリング補正処理の際に用いられる駆動制御パルスのタイムチャートである。process.【図9】本発明によるレーザ描画装置の作動を説明するフローチャートである。invention.【図10】図9のフローチャートの一部を詳細に示すフローチャートである。FIG.【図11】図9のフローチャートのその他の一部を詳細に示すフローチャートである。前記クロックパルスの位相を前記寸法差に応じた所定の間隔でしかも前記大小関係に応じて正側及び負側のいずれか一方に順次シフトさせてその全シフト量を前記寸法差に実質的に一致させるように前記クロックパルスの出力を制御するクロックパルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。パルスの出力を制御することを特徴とするレーザ描画装置。パルスの出力を制御することを特徴とするレーザ描画装置。前記寸法差に応じた所定の間隔で負側に順次シフトさせてその全シフト量を前記寸法差に一致させるように前記クロックパルスの出力を制御するクロックパルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。力制御手段が更に、前記被描画体の寸法値と前記基準寸法値との寸法差が大きければ大きい程、前記クロックパルス切換手段によるクロックパルスの切換間隔を小さくするように該クロックパルス切換手段を制御するクロックパルス切換間隔制御手段を包含することを特徴とするレーザ描画装置。出力を制御し、かつ前記寸法判別手段によって前記被描画体の寸法変動値が前記基準寸法値よりも小さいと判別されたとき、前記クロックパルスの位相を前記寸法差に応じた所定の間隔で前記クロックパルスの位相を負側にシフト順次させてその全シフト量を前記寸法差に実質的に一致させるように前記クロックパルスの出力を制御するクロックパルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。レーザビーム走査方向に沿って前記被描画体上に予め設けられた2つの位置決めマーク間の距離を測定し、その測定値を前記基準寸法値と比較して該被描画体の寸法変動値を検出することを特徴とするレーザ描画装置。クロックパルス出力制御手段が更に、前記被描画体の寸法変動値と前記基準寸法値との差が大きければ大きい程、前記クロックパルス切換手段によるクロックパルスの切換間隔を小さくするように該クロックパルス切換手段を制御するクロックパルス切換間隔制御手段を包含することを特徴とするレーザ描画装置。一致させるように前記駆動パルスの出力を制御する駆動パルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。前記駆動パルス出力制御手段が更に、前記被描画体の副走査方向寸法値と前記副基準寸法値との寸法差が大きければ大きい程、前記駆動パルス切換手段による駆動パルスの切換間隔を小さくするように該駆動パルス切換手段を制御する駆動パルス切換間隔制御手段を包含することを特徴とするレーザ描画装置。一致させるように前記駆動パルスの出力を制御する駆動パルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。前記副基準寸法値との寸法差が大きければ大きい程、前記駆動パルス切換手段による駆動パルスの切換間隔を小さくするように該駆動パルス切換手段を制御する駆動パルス切換間隔制御手段を包含することを特徴とするレーザ描画装置。