Aお問い合わせ膜厚計アドミッタンスゲージは世界に類を見ない膜厚計です。図1、電圧対膜厚の関係を図2に示します。きの容量対膜厚の関係を図3、電圧対膜厚の関係を図4に示します。電率Erを変更すると容量対膜厚特性と電圧対膜厚の関係は平行関係です。プローブ図1~4と表1より膜厚が1桁低くなると電圧は反比例して1桁高くなります。薄膜ほど高感度になります。標準プローブを使用した疑似コンデンサーの試験でも、最終桁の変動はありますが、ほぼ同様なデーターを確認できます。薄膜になるほど誤差は少なく0.30μmでは±0.01μm、最高膜厚40μmでは±0.07μm(最大±0.5%以内)の直線性があります。再現性としては、±0.02μmの性能を誇る膜厚計です。Cookie(クッキー)を利用しています。使用に同意いただける場合は、「同意します」をクリックしてください。ポリシーをご確認ください。