高速応答・高剛性ピエゾステージ剛性の高いステージ形状のアクチュエータです。高速でのスキャニング、大質量ワークの位置決めに最適です。ストロークは20μm~120μmを選択できます。静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。ストロークは20μm~120μmを選択できます。静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。ピエゾステージ20μm~120μmのストロークをご用意しています。大きな質量を搭載しての高速動作が可能。ミリ秒高速応答・ローコスト。ピエゾステージPDFをダウンロード20μm~120μmのストロークをご用意しています。大きな質量を搭載しての高速動作が可能。ミリ秒高速応答・ローコスト。ピエゾステージ高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。ピエゾステージPDFをダウンロード高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。