流体制御コーティング〜真空・プラズマ・濃度計測〜ロジック、メモリ、通信デバイスやディスプレイといった電子デバイスの機能が向上するにつれて、微細化や構造の複雑化が進んでいます。それに伴い、生産プロセスにおける各種ファクターの高精度な測定や制御の必要性も高まっています。中でも、真空チャンバ内の不良に繋がる残留成分、チャンバ内のコンディションにより不安定になるプラズマや保存状態の影響を受けやすい液体材料の気化濃度などに対しては、特に精密な制御が求められています。当社の幅広い計測技術で、チャンバ内のさまざまな測定・制御に対応します。電流・電圧制御、DeviceNetTM、CC-Link®、豊富な通信形式をラインアップ(価格は異なります)専用の制御ユニットPEシリーズもご用意しています。流量精度は、SEMI規格E56-1296に準拠しています。Associationの商標です。CC-Linkは三菱電機株式会社の登録商標であり、CC-Link協会が管理する商標です。※(株)堀場エステック製品お問い合わせ価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。カスタマーサポートセンターお電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。0120-37-6045受付時間:9:00~12:00/13:00~17:00月曜日~金曜日(祝日をのぞく)価格についてPDF版の予算申請用カタログをダウンロードの上、お確かめください。アクセシビリティサイトマップ。