NEW試料に光を照射し、反射した光の偏光状態の変化から、薄膜の膜厚や光学定数を解析する手法(エリプソメトリー)を用いた測定器です。QuickSEシリーズは、独自の測定方式により、高速測定とコンパクト化を実現。ユニークなポータブルタイプや自動ステージタイプなど、用途に応じた幅広いラインアップを用意しています。小さなサンプルは、付属の固定ステージ上で測定します。大きなサンプルの場合は、本体をステージから取り外し、サンプル上に直接本体をのせて測定を行います。専用のキャリーケース(オプション)に収納すれば、安心して持ち運びいただけます。モードで簡単に指定できます。下図は、標準試料(SiO2/Si)の測定例です。高速測定下においても、高い正確度、精度、繰り返し再現性を示しています。下図は、2種類の有機薄膜を触針式段差計と分光エリプソメーターで測定した結果です。測定結果から膜厚については触針段差計の結果と高い相関性が確認できます。分光エリプソメーターを用いることにより、有機薄膜の屈折率も膜厚と同時に求めることが可能です。測定信頼性が確認できました。メリットを利用し、ウェハ全体での膜厚分布も簡単かつ迅速に測定することができます。会員向けコンテンツクラブ・ファイに会員登録された方は、各種資料をダウンロードいただけます。KB)ダウンロードには、会員登録が必要です。シリーズアップデートアルゴンガスクラスターイオン銃(GCIB)アップデートその他システム各種サービスクラブ・ファイへ会員登録後、ソフトウェアアップデートファイルやカタログなどのダウンロードができます。ログイン新規会員登録お問い合わせ資料請求やお見積もり、修理・メンテナンスなどについても、お気軽にお問い合わせください。ELECTRONICS。