重量があり曲がらないケーブルを介して自動テスト装置に接続されたテストヘッド用マニピュレータ。該マニピュレータは、垂直部材が取り付けられた入れ子式に収縮伸長する支柱組立体を含む。テストヘッドを保持するクレードルは、前記垂直部材に取り付けられる。ケーブルは、垂直部材に固定されて、該ケーブルによりテストヘッドに加えられる力の量を低減する。前記クレードルは、可動部材を含んで、テストヘッドの微細な位置決めを可能にする一方で、テストヘッドをケーブル力の影響を受けないように維持する。テストヘッドの進行運動は、ケーブルクランプの反対側のマニピュレータの一部分をテストヘッドから移動させることで達成される。取り扱い装置に対するテストヘッドの正確な位置決めは、テストヘッドと、取り扱い装置との間のインターフェースにおける位置決め機構を介して達成される。位置決め機構の作動を可能にするために、マニピュレータは、テストヘッドを位置決め機構により強制的に所定位置に着けるのを可能にする追従性を有する。自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ本発明は、概ね、重量物体の正確な位置決めに関し、より詳細には自動テスト装置のテストヘッド部を位置決めする装置に関する。自動テスト装置は、半導体チップメーカーにより使用される。半導体チップは、製造工程の出来る限り初期の段階でテストされて、欠陥のあるチップの処理に費やすコストを排除するようにされている。一般に、半導体チップは、該チップが製造される半導体ウエハの一部となっている間にテストをされる。この状態にある半導体チップをテストするには、通常半導体チップへのアクセスとなるリード線が該半導体チップがウエハから分離されて包装されるまで付け加えられないため、プローブを直接に半導体チップ上に配置しなければならない。プローブは、「テストヘッド」と呼ばれる自動テスト装置の一部分に取り付けられる。テストヘッドは、ケーブルを介して本体キャビネットに接続され、本体キャビネットにはテスト信号を発生分析するのに必要となる電子回路の本体部分が収容されている。テストヘッドの支持及び移動はマニピュレータによりなされる。チップをテストするには、ウエハを検査装置と呼ばれる装置に取り付ける。テストヘッドは、次いで、操作者により移動されて、チップとプローブが接触する。テストヘッドはその位置に保持されて、テストが実施される。テストヘッドをチップとの電気的接触がなされる一定の位置へ移動して保持する工程は、「ドッキング」と呼ばれる。ドッキングがなされると、検査装置がウエハを移動させて、該ウエハ上の個々のチップがテスト位置にくるようにして、テストが実施される。様々な要因によってドッキング工程は非常に難しいものとなる。第1には、半導体チップが1平方インチの何分の1といった非常に小さいことである。何百ものテスト信号を半導体チップに接続しなければならないことがしばしばある。これらのテスト信号の接触点は、全て小さなチップ上に取り付けられなければならないことから、該接触点自体も非常に小さなものでなければならない。テストヘッドは、プローブの全てが接触点の全てと整合するように正確に位置決めされなければならない。テストヘッドの重量が何百ポンドもあることから、テストヘッドを正確に位置決めするのは複雑なものとなる。このような重さになるのは、電子回路をテスト中のチップに出来る限り接近させて位置決めする必要があるからである。テストヘッドの移動は、斯かる重量により難しいものとなる。テストヘッドにより過度の力が検査装置に加えられて、検査装置が変形することがある。検査装置の変形が大きくなると、プローブを検査装置内の半導体チップに対して正確に位置決めするのが非常に難しくなる。別の複雑にする要因は、テストヘッドを本体キャビネットに接続するケーブルが非常に重く、ヒステリシスを示すことである。ケーブルの重量は何百ポンドにもなる。斯かるケーブルの重量によりテストヘッドに力が加えられることがある。ケーブルがヒステリシスを示すことから、これらの力がケーブルが移動する時に変化することがある。従って、マニピュレータは、力が変動してもテストヘッドを正確に位置決めしなければならない。別の複雑にする要因は、同一の自動テスト装置に異なる検査装置を使用することがしばしばあることである。検査装置が異なれば、半導体チップの配列も異なったものとなる。マニピュレータは、検査装置のタイプの如何に拘わらず、テストヘッドをドッキングがなされるように位置決めしなければならない。テストヘッドは、ある場合には、プローブを下方に向けて検査装置の上方に水平に位置決めされる。その他の例では、プローブを上方に向けて検査装置の下方に水平に位置決めされる。その他の検査装置の場合には、テストヘッドは、プローブを横方向に向けて垂直に位置決めされる。別の検査装置の場合には、テストヘッドは、水平と垂直の間のある角度に位置決めしなければならないことがある。様々なデザイン技術を利用してドッキングを容易に行うようにされてきた。高精度製造技術を利用して、マニピュレータの弛みを殆どないもにすることが確実になされている。堅牢なストップがマニピュレータに組み込まれて、マニピュレータが繰り返し同一位置へ戻るようにされる。検査装置と、テストヘッドとの接触面積を出来る限り大きくして、撓みが平均したものとなるようにされる。588,346号、第4,589,815号及び第5,149,029号等で提案されている。テストヘッドの重量により生じる問題点を改善するために、あるマニピュレータはモーターまたはその他の駆動機構を含んでいる。ケーブルの重量の影響を低減するために、ケーブルの重量を支持する装置が提案されている。893,074号及び第5,030,869号に示されている。上記のデザイン技術を使用するにも拘わらず、現在のマニピュレータでは、テストヘッドと、検査装置とのドッキングを常に容易に行えるというわけではない。2人でテストヘッドを所定の位置へ装着することが必要となることがある。テストヘッドのドッキングがなされているように見える時でさえ、時々数々の調節をして、集積回路チップ上のテストポイントの全てとの電気接触を達成することが必要になる場合がある。発明の概要前記の背景を念頭におくと、本発明の目的は、テストヘッドを正確且つ繰り返してドッキングできるマニピュレータを提供することである。本発明の別の目的は、1人でテストヘッドのドッキングを可能にするマニピュレータを提供することである。mode)で操作して、テストヘッドを正確に位置決めできるマニピュレータを提供することである。)を有するマニピュレータで達成される。クレードル内のテストヘッドを移動して微調節を行うことができる。大きな調節はクレードル自体を移動して行うことができる。クレードルにクランプを取り付けてケーブルを保持するが、該ケーブルは、クランプとテストヘッドとの間に若干の曲がりが設けられてテストヘッドの操作を容易に行えるようにして、微調節がなされるようにされている。一実施例では、マニピュレータは、操作者の入力に応答してマニピュレータの様々な部材に取り付けられたモーター及びブレーキを制御する電子制御ユニットを含んでいる。一実施例では、マニピュレータは、電子制御ユニットに接続されたテストヘッド上の位置センサを含んでいる。電子制御ユニットは、位置センサからの入力を使用して操作者の参照フレームに対して与えられた方向指令をマニピュレータの参照フレームの指令に変換する。別の実施例では、クレードル内のテストヘッドの動きが減衰されて、ドッキングを解除した時にテストヘッドが突然動くのを無くすようにされる。nce)を有して、ドッキング中に正確に繋ぎ合わさせることによりテストヘッドの最終位置調節が行えるようにされる。別の実施例では、マニピュレータは、電子制御ユニットに結合されたヒートセンサを備えた静電放電装置を含んでいる。人が静電放電装置を身に着けているとヒートセンサが表示しなければ、電子制御ユニットは、テストヘッドの動きを禁止する。図6は、図2のマニピュレータのテストヘッドクレードルを示した略図である。好適な実施例の説明図1は、半導体ウエハのテストに使用されるようなテスタ100を示す。テストヘッド108は、検査装置(prober)または取扱装置(図示なし)へ連結または「ドッキング」し、該検査装置は、テストヘッド108に対してウエハを位置決めする。図1では、2台のテストヘッド108が図示されているが、しばしば1台のテストヘッドが使用される。各テストヘッド108は、ケーブル104を介してテスタ100に接続される。ケーブル104には数多くのワイヤまたは細いケーブルが収容されている。ケーブルは、非常に堅く且つ重い。テストヘッド108は、マニピュレータ102により保持される。マニピュレータ102は、テストヘッド108を物理的に支持する。マニピュレータは、また、テストヘッド108を位置決めして検査装置または取扱装置(図示なし)にドッキングするのを可能にする。検査装置または取扱装置が異なるとドッキングするためのインタフェースの位置も異なってくる。02は、テストとヘッド108を6つの自由度で移動できなければならない。テストヘッド108は、非常に重く、重量が数千ポンドにもなる。マニピュレータ102は、テストヘッド108を容易且つ正確に所定の位置へ移動可能とする間に斯かる重量を支持しなければならない。テストヘッド108が床に落下するのを確実に防止する特徴を含んでいなければならない。motion)をするとともに、他の方向に微運動することが可能にされている。rup)により進行運動と微運動とが区別して行われる。8を移動する時には、テスタ100及び検査装置(図示なし)に対して移動する。反対に、マニピュレータ102がテストヘッド108を微運動により移動する時は、ケーブル鐙金物110は、テスタ100に対して固定される。このように構成することで、微運動をする間にケーブル104に加えられる力の変化による影響がテストヘッド108へ及ぼさないようにされる。長さがケーブル鐙金物110と、テストヘッド108上のケーブル取付点との間の最大距離より長くなるようにされている。この構成により、ケーブル鐙金物110とテストヘッド108との間でケーブル104に曲がり112が生じる。ケーブル104は、概ね曲がらないが、曲がり112により、ケーブル104のケーブル鐙金物110とテストヘッド108との間の部分が自由に動くようにされるとともに、微運動を行っている間にテストヘッド108をより正確に位置決めすることが可能となる。テストヘッド108の動きを容易にするために、マニピュレータ102がモータを含んでいて、1つ以上の方向に該マニピュレータを駆動するようにしても良い。斯かるモータの制御は、電子部品ハウジング106内に収容された電子部品によりなされる。マニピュレータ102は、また、ブレーキを含み、該ブレーキが解放されるとマニピュレータの移動が可能となる。これらのブレーキの制御は、電子部品ハウジング106内の従来の電子部品によりなされる。floor)の操作を制御するコンピュータにより出される指令に応答してコンピュータ制御されるようにしても良い。従来の制御用電子部品も電子部品ハウジング106内に収容するようにしても良い。モータを制御し且つブレーキを解放する電子部品は、公知であるので明確には図示しない。同様に、モータを制御して物体を移動するコントロールアルゴリズムは公知である。斯かる多くのアルゴリズムはセンサを頼んでフィードバックを行う。本発明のマニピュレータとともに使用されるような任意の斯かるセンサは、明確に図示されていない。同様に、制御用電子部品をモータ及びブレーキに接続する配線は、当業界では公知のものであるから、明確に図示しない。符号なし)から離間して保持する。このように位置決めすることによりマニピュレータ102にトルクが発生して、マニピュレータが転倒する恐れがある。マニピュレータ102の転倒を防止するために、マニピュレータ102をベースにおいて床に固定するようにしても良い。マニピュレータ102のベースに釣り合い重りを配置することが可能である。図1では、マニピュレータ102のベースがテスタ100の下まで伸長している。この構成では、テスタ100が釣り合い重りとして作用する。マニピュレータ102がテスタ100から離れて位置決めされる場合には、鉄板等の釣り合い重りをマニピュレータ102のベース上に配置することが可能である。図2を参照すると、マニピュレータ102が詳細に図示されている。arm)組立体500及びクレードル組立体600の幾つかの組立体から構成されている。これらの組立体は図3乃至図6にそれぞれ詳細に図示されている。図2には2組の矢印が図示されており、それぞれマニピュレータ102がテストヘッド108を移動する方向を図示している。矢印U−Dは垂直方向の運動を画定している。矢印L−Rは振り運動を画定している。矢印RL−RRは回転運動を画定している。運動及び回転運動は進行運動である。垂直運動は、支柱組立体400を入れ子式に移動させることで達成される。水平運動は、支柱組立体400をベース組立体300に対して平行移動させることで達成される。振り運動は、ベース組立体300に対して支柱組立体400を回動することで達成される。回転運動は、旋回組立体500を回動することで達成される。矢印I−Oは内外(in−out)運動を画定する。矢印NU−NDは「頷き(nod)」運動を画定する。矢印ΘL−ΘRはΘ方向を画定する。内外、頷き及びΘにより微運動を画定する。内外運動は、クレードル組立体600中でテストヘッド108の両側を平行移動することで達成される。頷き運動は、テストヘッド108をクレードル組立体600への取付点を中心に回動することで達成される。Θ方向への運動は、クレードル組立体600に対してテストヘッド108の2つの側を差動平行移動させることで達成される。クレードル組立体600及び旋回アーム組立体500の一部分は、進行運動中はテスタ100(図1)に対して常に相対移動を行うが、斯かる進行運動中にテストヘッド108に対する相対移動は行わない。進行運動中のケーブル力の変化によってテストヘッド108が影響されないようにするために、ケーブル鐙金物110(図1)は、クレードル組立体600またはテストヘッド108に対して相対移動しない旋回組立体500の一部のいずれかに取付ておかねばならない。旋回アーム組立体500は、ケーブル力に対して持ちこたえられるようにするのが容易であることから、該組立体へ取り付ける方が好適である。ケーブル鐙金物110(図1)は、図2には明瞭に図示していない。ケーブル鐙金物110は、でき得る限り支柱組立体400に接近して取り付けるのが好適である。4が支柱組立体400に接触しないようにされている。図1に図示する如く、ケーブル鐙金物110は、支柱組立体400に一方の側に位置決めされる。°の回動が可能になる。この範囲の運動によりテストヘッド108が該テストヘッド108の上方または下方、または水平方向右側または左側にドッキング面を有する検査装置または取扱装置にドッキングすることが可能となる。図3は、ベース組立体300を詳細に図示している。ベース組立体300の要素は、ベースプレート302上に支持される。脚304は、ベースプレート302の下側に取付られる。該脚304は、ねじの切られた穴を通して取付られて、伸長または引込が可能にされている。4は、伸長されるとマニピュレータ102を静止位置に支持する。キャスタ306も、ベースプレート302及び安定バー308の下側に取り付けられる。脚304が引込まれると、キャスタ306が床と接触して、マニピュレータ102が容易に転動可能となる。チューブ310は、ベースプレート302の後部に位置決めされる。所望であれば、棒(図示なし)を該チューブ310内及びテスタ100(図示)の下へ挿入して、マニピュレータ102の釣り合い重りの機能をさせるようにしても良い。釣り合い重り312もまたベースプレート302の上に配置される。該釣り合い重り312は、鋼板を積み重ねた様な任意の重量物体であって良い。プレート314は、回転軸受318とともにベースプレート302上に取り付けられる。プレート314は、支柱組立体400(図4)を支持する。回転軸受318により振り運動が可能となる。平行な直線レール316がプレート314に取り付けられる。16は、支柱組立体400(図4)の直線軸受402を受けるようにされている。直線レール316及び直線軸受402を組み合わせることで水平運動が可能となる。モータ組立体320はプレート314に対して支柱組立体400を駆動するように接続される。モータ組立体320は、駆動されると伸長及び引っ込んむことで直線運動を可能にするボールねじを含む。斯かるモータの使用は、任意のものである。モータ組立体322は、振り運動のブレーキとして使用される。モータ組立体322は、また、駆動されると伸び或いは引っ込むボールねじを含む。該ボールねじは、軸受318の周りを輪状に取り囲むベルト(図示なし)に接続する。モータ組立体322が駆動されると、ベルトが締まったりまたは緩んで、それによって、振り運動に対する制動が加えられたり解放されたりする。モータ組立体322の使用もまた任意である。回転軸受318の外側表面に歯を形成することで制動を達成するようにしても良い。ばねを装着したソレノイドを使用して、「短いラック」を押圧して歯に係合させたり、または、該短いラックを引っ込ませるようにする。短いラックは、回動しない歯が形成された部分である。歯が形成された軸受に押圧されて当接すると、軸受の回動が防止される。十分な力、例えば、13.608kg(30ポンド)を超える力が加えられると、短いラックと回転軸受との間で滑りが生じる。このように、振り方向において追従性が提供される。図4は、支柱組立体400の分解図である。支柱組立体400は、支柱ベースプレート404上に組み立てられる。04の下側に取り付けられて、前記に説明した水平運動を画定する。支柱組立体400は、複数の、本書では4つの平行な支柱部分を含んでいる。支柱部分414Dは、該支柱部分の2つの側に取り付けられた安定翼416を有する。支柱部分414Dは、安定翼416と同様に支柱ベースプレート404に取り付けられる。支柱部分414Dは、支柱ベースプレート404に垂直に取り付けられる。直線レール418は、支柱部分414Dの正面に取り付けられる。20は、支柱部分414Cの裏面に取り付けられて、直線レール418と係合する。これにより、支柱部分414Cが支柱部分414Dに対して垂直に摺動するのが可能となる。直線レール418及び直線軸受420は、支柱部分414B及び414A間のみならず支柱部分414C及び414B間でも同様に使用される。4C、414B及び414Aは、支柱ベースプレート404に固定されない。支柱部分414A、414B及び414Cは、支柱ベースプレート404に到達するまで垂直に下方へ移動することができる。414B及び414Cは、また、垂直に上方へも移動することができる。このように、支柱組立体400は、入れ子式に収縮または伸長することができる。支柱部分414Cの上方への垂直運動は、支柱部分414Cの裏面のストップタブ424に係合する支柱部分414Dのストップピン422により制限される。22により制限される。ストップタブにより同様に制限される。収縮された時の高さの約2倍まで伸長することが可能である。支柱組立体は、91.44cm(3フィート)の高さから182.88cm(6フィート)の高さまで入れ子式に伸長収縮が可能となる。このようにして垂直運動が画定される。支柱部分414は、平坦でない形状にされる。0の安定性が一段と増すのである。斯かる形状により前記の支柱部分が一体にはまり込んで組立体のサイズの縮小が可能となる。任意の形状を用いることが可能である。取付プレート412は、支柱部分414Aに取り付けられる。12により旋回アーム組立体500(図5)の取付場所が画定される。アクメねじ410の上端も取付プレート412に取り付けられる。アクメねじ410の下端は、伝動装置408に接続され、該伝動装置は、支柱ベースプレート404に取り付けられる。伝動装置は、モータ406により駆動される。モータ406が起動されると、伝動装置がアクメねじ410を回動する。アクメねじ410は、入れ子式に収縮伸長する部分により構成される。アクメねじ410は、回動して伸長または収縮を行う。モータにより伸長または収縮を行う。2に付与された重力で収縮することはない。アクメねじは、モータ406に駆動されて初めて収縮する。vable)」である。一切の運動が起きないことである。図4Bは、支柱組立体400の駆動機構の別の実施例の断面図である。駆動機構は、モータ406、伝動装置408及び図4Aのアクメねじ410に取って替わるものである。アクメねじ410の代わりにボールねじが使用される。入れ子式に収縮伸長するねじであるが、アクメねじより摩擦が低く、従って、小型のモータで駆動することが可能である。ボールねじ462の上端には歯車462が収容される。64に接続し、歯車464は、モータ456の軸に取り付けられる。このように、回転運動は、モータ456からボールねじ460へ連結される。62の上端は、支柱部分414Aに取り付けられ、駆動されると、支柱を伸長収縮する。アクメねじの代わりにボールねじを使用した場合には、モータ456は、ブレーキを含んで、垂直軸線が確実に復元駆動不可能となるようにしなければならない。ボールねじ460の下端は、内部シリンダ468及び外部シリンダ470から構成される空気ピストン組立体480上に取り付けられる。外側に向けられた突起を有し、外部シリンダ470は、内側に向けられた突起を有している。これらの突起は、それぞれの端でほぼ気密シールを成してキャビティ472を形成する。斯かるシールは、依然として内部シリンダ468及び外部シリンダ470の相対運動を可能にしている。キャビティ472は、レギュレータ(図示なし)等を介して圧縮されて一定の圧力にされる。(1平方インチ当たり40乃至60ポンド)の範囲の圧力が維持されるのが好適である。キャビティ474は、圧縮されずに通気口を設けて、外部シリンダ470に対して内部シリンダ468の運動が過度に制限されるのを排除される。外部シリンダ470は、支柱ベースプレート404に取り付けられる。このように、空気ピストン組立体480により垂直軸線に沿ってマニピュレータ102に追従性がある程度与えられる。図5は、旋回アーム組立体500の一部分解図である。回転軸受組立体502を介して取付プレート412(図4)に取り付けられる。回転軸受組立体502は、互いに自由に相対回転する外側リング及び内側リングを有する。外側リング504は、取付プレート412に取り付けられる。6は、チューブ510に取り付けられる。必要な場合には、軸または延長部材を使用して、内側リング506及びチューブ510間の距離を測る。回転軸受組立体502がチューブ510の回動を可能にして、回転運動が画定される。歯車508は、外側リング504に固定される。歯車512は歯車508に係合する。歯車512は軸514を介してモータ516に接続される。6は、内側チューブ510に取り付けられる。支持され、該軸受ブロック518は、チューブ510に取り付けられる。モータ516は、起動されると、チューブ510を駆動して回動する。このように、回転運動が行われる。モータ516は、クラッチ組立体を組み込んでいる。モータ516が起動されないと、クラッチ組立体が軸514の運動を防止する。このように、回転運動は、復元駆動不可能となる。モータ516は、ばね520に取り付けられて、チューブ510に堅牢に取り付けられていない。ばね520は、穴522を貫通するピン(図示なし)により所定位置に保持される。6が軸514を中心に回動可能となる。モータ516は、約20°回動できるのが好適である。歯車508及び512の歯車比に基づくと、この回動によりチューブ510が約2°回動することになる。この若干量の回動により回動方向に追従性が生まれる。ケーブルクランプ110(図1)は図5に明確に図示していない。ケーブルクランプは、チューブ510に容易に取り付けることが可能である。チューブ510は、クレードル組立体600の取付点を画定する。図6は、テストヘッドフレーム608を保持するクレードル組立体600を示す。使用中においては、テストヘッドフレーム608がテストヘッド108(図1)を構成する電子部品を支持する。背部602がチューブ510(図5)に取付られる。背部602から伸長する。各サイドアーム604は、U字状の形状にされて、一切の微運動を可能にする機能を収容する。各サイドアーム604は、該サイドアーム604の全長に沿った一対のレール612を含む。該レール612には往復台610が載置される。これらのボルトは、テストヘッド108から伸長しており、一方の端においてねじが切られて、テストヘッド108への堅牢な取り付けが可能にされている。該ボルトの側壁604内へ突起している端は、ねじが切られていない。n)社から出されているパーツ番号6sf10等の球形平面軸受により形成される回転継手(符号なし)を介して往復台610へ接続される。04内の往復台610が一緒に移動すると、内外運動が画定される。回転継手によりボルト614が該ボルトの軸線を中心に回動するのが可能となる。この回動により頷き運動が画定される。回転継手は、また、ボルト614が往復台610の表面に垂直な平面において、往復台610に対して枢動するのを可能にする。この運動は、また、対向するサイドアーム604が同時に異なる方向に移動するのを可能にする。この異なる方向への移動によりΘ運動が画定される。往復台610が反対方向に移動すると、往復台612間の距離が変化する。接続する軸受がボルト614が往復台610の表面に垂直に摺動するのを可能にする。好適な実施例では、ボルト614が往復台610の表面に対して垂直に運動するのは、直接には可能にされていない。サイドアーム604が若干可撓性を有するようにされている。Θ運動中は、サイドアーム604が一体に曲がって、往復台610間の距離を一定に維持する。サイドアーム604は、鋼またはその他の比較的堅い材料から形成されるのが好適であるにせよ、該サイドアームの長さが長いことから、少量の可撓性が付与されてΘ運動が可能となる。62cm(0.3インチ)の鋼溝片が適切である。同様のサイズのアルミ片を使用して軽量化を図ることが可能である。各サイドアーム604は、モータ618を含む。モータ618は、ベルト(図示なし)を介して等の従来の手段で往復台610に連結される。モータ618は、駆動して内外運動及びΘ運動を画定する。好適な実施例では、モータ618は、ボールねじを介して往復台610に連結されたステップモータである。ステップモータは、オープンループ制御を可能にするとともに、位置フィードバックセンサを不要にする。モータ618は、クラッチ機構を含み、該クラッチ機構が解放されると、往復台610の移動が可能になる。モータ618のクラッチ機構は、モータ618を駆動せずに解放可能となるのが好適である。図1)が追従的な態様で移動して、内外運動及びΘ運動が可能になる。頷き運動(ボルト614の軸線を中心にした回動)は、モータの駆動によって生じるものではない。概ね、ボルト614は、テストヘッド108の重心近傍に取り付けられる。従って、テストヘッド108の重量に拘わらず、頷き運動にはほとんど力を必要としない。頷き運動は、常に追従的な態様で行われる。図1に示す如く、ケーブル104は、可能な頷き運動を一定の量制限する。テストヘッド108は、頷き方向にばね付勢されて、中立位置へ復帰するようにすることが可能である。内外運動及びΘ運動は、モータ駆動制御にユニークな問題を提起する。クレードル組立体600が回動可能なことから、内外運動及びΘ運動の絶対方向が変化できる。方向が変化できるから、前記運動に対する重力の方向が変化できる。モータ618のクラッチが解放されると、テストヘッド108(図1)が重力により移動するのが可能となる。重力の方向が変化できるから、モータ618が往復台610の各々を駆動して重力と釣り合いを取らなければならない方向は、常に同一ではない。8が損傷するのを避けるために、各サイドアーム604は、空気ダンパ620を含む。08が損傷を受ける危険性は低減される。マニピュレータ102は、一般に精密機械設計に使用される強い材料から組立られる。構造部材は、鋼または同様な材料から公知の製造技術を用いて形作られる。ベースプレート302は、3.81cm(1.5インチ)の鋼板から形成され、支柱部分414は、1.905cm(0.75インチ)の鋼板から形成される。軸受組立体及びレールは市販されているものである。テストヘッド108の重量を支持できる任意の良質の軸受を使用することが可能である。任意の公知の組立技術を使用することが可能である。鋼片は、溶接またはボルトまたはねじにより接合することが可能である。少なくとも幾つかの部品はねじで接合されて、マニピュレータ102の容易な搬送を可能にするのが好適である。旋回アーム組立体500は、ねじで支柱組立体400に取り付けられて、マニピュレータ102が幾つかの部分に分解されて搬送を容易にするのが好適である。マニピュレータ102は、正確な位置決めを画定するテストヘッド及び(又は)検査装置インタフェースと連携して使用されることが予想される。斯かるインタフェースの一例は、1994年9月1日に出願された自動テスト装置用インタフェースと題する米国特許出願第08/299,831号(参照として本書に組み込まれている)に記載されている。該特許出願は、検査装置のポストがテストヘッド上の一機構により把持されるといったインタフェースを画定している。この機構は、ポストを引っ張ることで、テストヘッドと、検査装置とを一体に引っ張るものである。該機構は、テストヘッドが検査装置に向かって引っ張られるに連れて適切に位置決めされるような形状にされている。使用においては、マニピュレータ102は、一組のジョイスティック等の電子部品ハウジング106(図1)に接続された制御機構を含むことが予想される。斯かるジョイスティックは、制御電子部品に制御入力を与えるのに使用される。一つのジョイスティックを使用して進行運動を制御し、また、一つのジョイスティックを使用して微運動を制御するのが好適である。ジョイスティック制御入力をモータ制御信号に変換する制御アルゴリズムは公知である。進行運動制御を最初に行ってテストヘッド108を位置決めする。微運動制御を行ってテストヘッド108を検査装置に十分に近づけて、検査装置/テストヘッドインタフェースにある正確な位置決め機構が係合される。正確な位置決め機構が一旦係合すると、マニピュレータ102を追従的な態様に入れることが必要となる。マニピュレータ102は、モータ320及び322のクラッチを解放して、振り及び水平方向に追従性を発生させることで追従的な態様に入れられる。追従性は、モータ618のブレーキを解放することで内外及びΘ方向に発生することができる。その他の構造部材に備わっている可撓性によっても生じる。垂直方向の追従性は、空気シリンダ480により生じ、回転方向の追従性は、モータ516のばねマウントを介して生じる。頷き方向の追従性は、テストヘッドが頷き方向に回動自在となることから、一定の制限内で生じる。追従性により、正確な位置決め機構がテストヘッド108を、該テストヘッドを検査装置にドッキングさせるのに必要な正確な位置まで引っ張るのである。ドッキングされると、モータ320、322及び516のクラッチは、次いで、係合してテストヘッド108を必要な位置に保持する。一実施例を説明してきたが、数多くの代替実施例または変形が可能である。図5は、歯車508が回転軸受502に取り付けられたものを図示している。回転軸受502の外側表面に歯を設けるようにして別個の歯車を不要にすることも可能である。マニピュレータは、様々な方向に追従性を与えるような構造とされると説明した。追従性は、テストヘッドを検査装置に対して位置決めするインタフェースを収容する検査装置またはその他の装置とドッキングする際に有益となる。斯かる外部位置決め装置を使用しない場合には、マニピュレータを追従性なしで作るのが好適であるかも知れない。全ての運動をモータにより行う必要はない。モータは、テストヘッド108をより簡単に移動するのに使用される。振り運動は、重力またはケーブルカの影響を相殺する必要はなく、従って、モータで駆動される必要はない。同様に、微運動は、ケーブル力の影響を受けないから、モータ618を排除することが可能である。モータを取り除いても、あるクラッチ機構を使用して不要な運動を防止するのは好適である。他の場所にハンドルを取り付けて移動を容易にするのが好ましい。斯かるハンドルは、クラッチ機構の解除を行う制御ボタンを含むことが可能である。モータを使用しても、テストヘッド108及びマニピュレータ102にハンドルを使用するのが好ましい。斯かるハンドルは、ジョイスティックに替えて制御入力を付与するのに使用される力センサを含むことが可能である。テストヘッド108に位置センサを設けるのが好ましい。斯かる位置センサは、制御入力を、操作者の座標スペースに対してテストヘッドの運動を生じさせるモータ指令に翻訳するのに使用することが可能である。位置センサが使用される場合には、空気ダンパ620を取り除くことが可能である。テストヘッドのドッキングを解除する時には、テストヘッドの位置が最初に感知される。ドッキングの解除前にモータ618が起動されて、テストヘッド108の如何なる運動も無効にされる。制御電子部品と連携してモータによる制御を使用することによりマニピュレータ102に多くの特徴を追加する機会が生まれる。ジョイスティックコントローラを腕時計に似たリストバンド上の一組のボタンに替えることが可能である。リストバンドは、また、静電放電を防止する接地装置として機能する。リストバンドは、また、該バンドが人に装着されているか否かを検出する温度センサを収容することが可能である。リストバンドが人に装着されていない場合には、マニピュレータ上の制御機能が機能禁止となる。このように、テストヘッドは、操作者が適切に接地されて静電放電の危険性が排除されないと移動することが不可能となる。斯かるセンサは、他のタイプの静電放電装置に組み込むことが可能である。別の実施例は、テストヘッドを検査装置にドッキングする補助装置として光ビームを含む。1つ以上の光ビームがテストヘッドの下側の特定の点から放出される。検査装置にマーカーが含まれて、テストヘッド上の前記の点と整合すべき検査装置上の特定の点を表示する。光ビームとマーカーとの間の関係を監視することによって、操作者は、テストヘッドをどの方向に移動させて適切なドッキングを行う必要があるかを判断することが可能となる。光ビームをテストヘッドから一定の固定した距離の平面に焦点を合わせることができる。検査装置がこの平面内にあるようにテストヘッドを位置決めすれば、全ての光ビームがはっきりと焦点をあわせる。光ビームのあるものが他の光ビームより鮮明に焦点を合わせた場合には、テストヘッドが検査装置に対して傾いていることを示す。従って、光ビームの位置及び照度を監視することにより操作者は、正確にテストヘッドの位置決めを行うことができる。図2は、旋回アーム組立体500が取付プレート412に対称的取り付けられているのを図示している。テストヘッド108をマニピュレータ102の一方の側の検査装置により接近して移動することが可能となる。自動テスト装置用のテストヘッドを例に取って好適な実施例を説明したが、本発明のマニピュレータは、任意のタイプのテストヘッド、または、正確に位置決めしなければならないその他の重量物体をも位置決めするのに使用することが可能である。本発明は、たとえケーブルに接続されてあっても正確な位置決めを必要とする重量装置とともに使用すれば特に有益である。ヘッドを支持する手段に固定して、該ケーブル鐙金物と、前記テストヘッドとの間で前記ケーブルに曲がり(112)を形成することを特徴とするマニピュレータ。前記テストヘッドを支持する手段がそれぞれのアーム(604)に摺動自在に取り付けられた一対の往復台(610)を含み、テストヘッドがアーム間に取り付けられている請求の範囲1に記載のマニピュレータ。該回転継手は、前記テストヘッドが前記往復台に接続される点により画定される共通の対称軸を中心に回動して、前記テストヘッドが前記アームにより画定される平面内で回動するのを可能にする請求の範囲2に記載のマニピュレータ。前記往復台を前記アームに関して同一方向または反対方向に摺動自在に移動する手段(612)を備えている請求の範囲1に記載のマニピュレータ。前記テストヘッドを支持する手段が前記旋回アーム組立体に接続されている請求の範囲1に記載のマニピュレータ。前記旋回アーム組立体が前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体に垂直な軸線を中心に回動する請求の範囲5に記載のマニピュレータ。前記ケーブル鐙金物が前記旋回アーム組立体の少なくとも1つの位置において前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体の上方へ伸長する請求の範囲6に記載のマニピュレータ。前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体が回転軸受(318)を介して前記ベース組立体に連結されている請求の範囲5に記載のマニピュレータ。前記大まかな運動を可能にする手段が、更に、前記回転軸受を介して前記ベース組立体に連結されたプレート(314)と、該プレートを前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体に連結する複数の直線軸受(402)とを備えている請求の範囲8に記載のマニピュレータ。備えているテストヘッド(108)用マニピュレータ(102)。備えている請求の範囲10に記載のマニピュレータ。前記テストヘッドを2点において支持する手段が、更に、一対の往復台(610)と、該一対の往復台に連結された一対のモータ(618)とを備えている請求の範囲11に記載のマニピュレータ。記載のマニピュレータ。備えているテストヘッド(108)用マニピュレータ(102)。前記ケーブル鐙金物が、前記テストヘッドを回動する手段から、該テストヘッドを回動する手段が少なくとも90°の角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲14に記載のマニピュレータ。前記ケーブル鐙金物が、前記テストヘッドを回動する手段から、該テストヘッドを回動する手段が少なくとも180°の角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲14に記載のマニピュレータ。前記ケーブル鐙金物が、前記テストヘッドを回動する手段から、該テストヘッドを回動する手段が少なくとも270°の角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲14に記載のマニピュレータ。備えているテストヘッド(108)用マニピュレータ(102)。前記追従的な運動を可能にする少なくとも1つの手段が、前記テストヘッドを垂直方向に駆動する手段と、前記支柱ベースプレートとの間に追従性のあるマウントを備えている請求の範囲18に記載のマニピュレータ。前記追従性のあるマウントが空気ピストン組立体(480)を備えている請求の範囲19に記載のマニピュレータ。前記追従的な運動を可能にする少なくとも1つの手段が前記テストヘッド支持手段と、前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体との間に追従性のあるマウントを備えている請求の範囲18に記載のマニピュレータ。512)と、該第2の歯車を保持する軸(514)と、該軸に取り付けられ、該軸に関して垂直に突出するモータ(516)と、該モータを前記テストヘッドを支持する手段に取り付ける少なくとも1つのばね(520)とを備えている請求の範囲21に記載のマニピュレータ。前記少なくとも1つのばねは、前記テストヘッドを支持する手段が前記軸を中心に一定の円弧に亘って移動するのを可能にする請求の範囲22に記載のマニピュレータ。前記第1の歯車が前記第2の歯車の円周より大きな円周を有する請求の範囲22に記載のマニピュレータ。前記第1の歯車と前記第2の歯車の歯車比が5対1を超えている請求の範囲22に記載のマニピュレータ。備えたテストヘッド用マニピュレータ。前記テストヘッドを保持する手段が少なくとも一対のアームを備え、前記テストヘッドが該アーム間に取り付けられている請求の範囲1に記載のマニピュレータ。前記保持する手段が複数の往復台を更に備え、該往復台の各々が前記複数のアームの1つに摺動自在に取り付けられ、前記テストヘッドが前記往復台の各々に接続される請求の範囲2に記載のマニピュレータ。前記テストヘッドが球状継手において、少なくとも前記往復台の1つに接続される請求の範囲3に記載のマニピュレータ。前記テストヘッドが、該テストヘッドが前記往復台に取り付けられる点により画定される軸線を中心に回動する継手において、前記往復台に取り付けられる請求の範囲3に記載のマニピュレータ。前記テストヘッドが、前記アームにより画定される平面における前記テストヘッドの回動を可能とする継手において、少なくとも前記往復台の1つに取り付けられる請求の範囲3に記載のマニピュレータ。前記往復台を前記アームに関して同一方向または反対方向に摺動自在に移動する手段を備えている請求の範囲3に記載のマニピュレータ。備えている請求の範囲1に記載のマニピュレータ。前記回動部材が前記垂直軸に垂直な軸線を中心に回動する請求の範囲8に記載のマニピュレータ。前記クランプが前記回動部材に取り付けられる請求の範囲9に記載のマニピュレータ。前記垂直軸が入れ子式に収縮伸長する垂直軸を備え、前記クランプが前記回動部材の少なくとも1つの位置において前記入れ子式に収縮伸長する垂直軸の上方へ伸長する請求の範囲10に記載のマニピュレータ。前記進行運動を可能にする手段が更にベースを備え、前記垂直軸が回転継手を介して該ベースに連結される請求の範囲8に記載のマニピュレータ。備えている請求の範囲12に記載のマニピュレータ。備えたテストヘッド用マニピュレータ。備えている請求の範囲15に記載のマニピュレータ。前記支持する手段が、更に、前記クレードル組立体に取り付けられるとともに、前記球形継手に連結された2つのモータを備えている請求の範囲15に記載のマニピュレータ。前記モータがステッパモータを含む請求の範囲16に記載のマニピュレータ。備えているテストヘッド用マニピュレータ。前記クランプが、前記回動部材から、該回動部材が少なくとも90°の角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する軸から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲18に記載のマニピュレータ。角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する軸から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲18に記載のマニピュレータ。角度に亘って回動する際に前記ケーブルを前記入れ子式に収縮伸長する軸から離間して保持するのに十分な距離伸長する請求の範囲18に記載のマニピュレータ。備えたテストヘッド用マニピュレータ。前記テストヘッドを垂直方向に駆動する手段を備え、前記追従的な運動を可能にする手段が前記駆動手段と、前記ベースとの間に追従性のあるマウントを備えている請求の範囲22に記載のマニピュレータ。記載のマニピュレータ。前記追従的な運動を可能にする手段が前記水平部材と、前記垂直軸との間に追従性のある回転継手を備えている請求の範囲24に記載のマニピュレータ。備えている請求の範囲25に記載のマニピュレータ。前記垂直部材を取り付ける前記ばねが該垂直部材が前記軸を中心に一定の円弧に亘って移動するのを可能にする請求の範囲26に記載のマニピュレータ。前記第1の歯車部分が前記第2の歯車部分の円周より大きな円周を有する請求の範囲26に記載のマニピュレータ。前記第1の歯車部分と、前記第2の歯車部分との歯車比が5対1を超える請求の範囲26に記載のマニピュレータ。