(图1)的厚度与绝缘层40a同样地为T21,绝缘层70a、90a(图1)的厚度与绝缘层50a同样地为T22。40a的厚度T21以及绝缘层50a的厚度T22。41的厚度Tl以及布线层51的厚度T6。(图1)的厚度与布线层51同样地为T6。当设为这种尺寸时,有利于阻抗控制。在内层形成带状线(stripline)、微带线(microstrip)来进行。100中,绝缘层10a、20a、30a的厚度Tll〜T13较大。是,在这种情况下,认为效果不明显。是,在这种情况下,认为效果不明显。因而,孔13a的第二面侧的开口13d的宽度也成为D2,孔33a的第一面侧的开口33d的宽度也成为D7。因而,孔21a的第二面侧的开口212的宽度D5大于孔21a的第一面侧的开口211的宽度D4。此外,并不限于此,填充导体13等的形状是任意的(参照后述的图38A〜图41)。示出宽度Dl〜D8的一例。