ID:問題:構造欠陥がほとんど無い単結晶の円形ウェハがあります。構成元素と結晶構造は既知ですが、結晶方位が不明です。あなたならどのようにして結晶方位を素早く調べますか?基本的にXRDでの評価を想定していますので、まずはXRDでの軸立て方法を教えてください。XRD以外で、あなたの職場or実験室で使用可能な分析装置ならば使用してOKですので、それも教えてください。ちなみに、表面形状や外形からでは判断つきません。ウェハを破壊してはいけません。厚さは400umです。汚すのは駄目ですが、裏面へのカーボンテープ程度なら、OKです。ID:>>115結晶構造からhkl,F,2θを計算しろ。吸収を計算して、透過するなら振動写真を撮れ。±10°くらいふるのが簡単だろう。結果見れば一撃だろ?わからなきゃ、表と2θ見比べろ。低角側の反射なら間違えんだろ?透過しないなら、反射で振動写真をとれ、影が多いので多少不愉快だが何とかなる。ん?なに?IPもCCDもX線フィルムもPilatusもない?4軸回折計だけ?じゃあ、ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば?受光スリットは甘めにしておくこと。俺なら、φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。反射が系統的に見つかれば、2θと表を見比べろ。一軸は、決定済みの軸から90以内の傾きの逆格子ベクトルを選べ。それで計算で何度χを傾ければいいか決めて、2θとωは計算値に。2軸決まれば3軸目は計算で決まる。何?4軸角からベクトルへの変換が分からない?桜井先生の本読め。え、κ型ゴニオしかない?どうにかなるが、面倒くセ。なんだと、インプレーン回折も出来る薄膜用の回折計なのか?マニュアル嫁。>ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば?ある指数面からある方向にある角度だけ傾斜させた基板で、ウェハに垂直な逆格子ベクトルが無いことだけは分かっています。角度の大小は不明です。>φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。φはステージ面内の回転角ですね。使用可能な装置は4軸回折計だけです。して素早く軸を見つけますか?In-plane回折は可能ですが、軸立ての難易度は同じじゃないでしょうか?ちなみに受光側スリットは最大2°しかありません。背面反射ラウエ法による単結晶の結晶配向決定方法がわからないくて困ってる者です。カリティのX線回折要論を読んではみたものの、なにぶん初心者なもので完全にはわからなかったのでこちらで質問させて頂きたく思います。グレニンガーチャートによりラウエ斑点を作っている面の極が特定できる、というところまでは理解したのですが、そこからどうやって結晶の配向を決定できるのでしょうか。試料の板面方向に対して六方晶(0001)は何度傾いているか、などはどのような手順を踏むことで決定できるのでしょうか。)一応ミラー指数の定義やステレオ投影とはどういうものか、ということも少しばかりではありますが理解しました。初歩的な質問ではありますが、どなたかご教授いただけたら嬉しく思います。ID:周りにわかりやすく記載されている文献がなく、周りに詳しい人物もいなかったため困った挙句こちらに来てみましたが、おっしゃる通りですね。文面ではなかなか理解できるものではないでしょうし、カリティを何度も読み返すしかないのでしょうかね...。ID:>>117>ある指数面からある方向にある角度だけ傾斜させた基板で、ウェハに>垂直な逆格子ベクトルが無いことだけは分かっています。角度の大小は>不明です。振動写真等、何か2次元ディテクターを使わないと素早くは無理。4軸回折計しかないなら、いわゆる「ピークサーチ」をするしかない。どれか特定のhklに対して2θを計算して、そこに2θを固定。hklは紛らわしい2θをもつ他の反射がないところを選ぶこと。受光側スリットは最大の2°にしておく。ωはθにあわせる(バイセクト配置)。あとはχとφをしらみつぶしで偶然に反射がカウンタに飛び込んでくるのを待つ。2つの反射がみつかれば、既知の格子ならUBマトリクスが組めるでしょ。軸の名前やUBマトリクスについては、この本のttp://www.shokabo.co.jp/mybooks/ISBN978-4-7853-2504-6.htm3.3と3.4だけ読むとよろし。