面向IC封裝的顯微視覺定位系統
為了實現IC封裝裝置視覺定位系統的整體構建,在分析面向IC封裝的視覺系統的基礎上,對顯微成像系統、視覺系統標定以及模式識別定位演算法進行了研究.針對面向IC封裝的視覺定位系統的特點,搭建視覺系統,並進行了系統標定.用Matlab編寫了模式識別定位軟體介面,並進行了相關試驗研究.實驗分析了系統的定位精度和穩定性,實驗結果表明,標定誤差基本滿足正態分佈,XY方向的平均誤差為0.014 5和0.106 5 pixel,方差為0.310 3和0.277 5 pixel.經過對視覺定位系統的標定,並使用某種IC晶片進行實際定位實驗,結果顯示匹配定位誤差可以控制在3.5 μm(0.4 pixel)以內.該視覺系統實現了亞畫素級的定位精度.