Direkte Messung der radialen Stromdichteverteilung im Elektronen-Debye-Scherrer-Kegel dünner Schichten
ZusammenfassungEs wird eine Meßeinrichtung zurdirekten Registrierung der im Debye-Scherrer-Kegel gestreuten Elektronenverteilung beschrieben, die gestattet, Beugungsdiagramme an polykristallinen dünnen Schichten frei von apparativen Streueffekten mit einem Meßfehler ⪅1% aufzunehmen. Die Veränderung des Streuvermögens organischer Trägerfolien und das Aufwachsen von Deckschichten durch Elektronenbestrahlung wird quantitativ beschrieben. Es wird an Alurninium gezeigt, daß das Streuvermögen der Schichtdicke proportional ist. Der Vergleich der Ringintensitäten aus dem Debye-Scherrer-Diagramm liefert bei verbesserten Auswerteverfahren eine gute Übereinstimmung mit der kinematischen Theorie.