TruPlasma RF 3000 sorozat | TRUMPF
Nagyfrekvenciás technológia kompromisszumok nélkül
A kiváló folyamateredmények garantálói
Ezekkel a nagyfrekvenciás generátorokkal biztosra megy: a TruPlasma RF 3000 sorozata a robusztus felépítésükkel és nagyfokú hatékonyságukkal tűnik ki. Ezért ez ideálisan alkalmas a stabil, reprodukálható plazmafolyamatokhoz, például a félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártásánál alkalmazzák őket. Világszerte alkalmazások ezreiben telepítve ezek a generátorok nagyfokú termelékenységet és kimagasló folyamateredményeket garantálnak.
Az akár 80%-os hatékonysági fok az energiaköltségek legfeljebb 50%-os csökkentését teszi lehetővé.
Kiváló nagyfrekvenciás spontán ívkisülés kezelés
Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése.
Nagyfokú robusztusság és folyamatstabilitás
CombineLine technológia: megbízható védelem a reflektált teljesítmények ellen rossz illesztés esetén.
Folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás, ezért sokoldalúan alkalmazható.
Marási és bevonatoló eljárások
A TruPlasma RF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai elsősorban marási és bevonatoló eljárásaihoz alkalmasak, például plazmamarás, reaktív ionmarás, ALD és PECVD.
Fém munkadarabok bevonatolása
A plazmafolyamatok segítségével az anyag felvihető a felületekre és leválasztható onnan, például fém munkadarabok bevonatolásánál vagy elektronikus alkatrészek strukturálásánál plazmamarással vagy fotoreziszt plazmaégetéssel.
Kis síkképernyők és napelemek bevonatolása
A TruPlasma RF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.
1. összehasonlító modell Kérjük, válassza ki TruPlasma RF 3012 TruPlasma RF 3020 TruPlasma RF 3024 TruPlasma RF 7040 TruPlasma RF 7050 2. összehasonlító modell (opcionális) Kérjük, válassza ki TruPlasma RF 3012 TruPlasma RF 3020 TruPlasma RF 3024 TruPlasma RF 7040 TruPlasma RF 7050
Kimenő teljesítmény 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Névleges teljesítmény 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Névleges terhelő impedancia 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Kimeneti frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Hálózati feszültség 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Hálózati frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Bemeneti teljesítmény 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Teljesítménytényező 0,93 0,93 0,93 - -
Szink. interfészek Igen Igen Igen Igen Igen
Analóg/Digitális Igen Igen Igen Igen Igen
RS 232 / RS 485 Igen Igen Igen Igen Igen
PROFIBUS Igen Igen Igen Igen Igen
EtherCAT Igen Igen Igen Nem Nem
DeviceNet Igen Igen Igen Igen Igen
Tömeg 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
IP védettség 20 20 20 54 54
Max. víznyomás 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
Min. nyomáskülönbség 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. térfogatáram 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Teljes hatásfok 78 % 75 % 75 % - -
Tanúsítványok / Szabványok SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Páratartalom 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
A legnagyobb hatékonyság és folyamatstabilitás
A veszteségi teljesítmény felezése és a hűtővíz ráfordítás csökkentése a kiváló hatékonysági fokkal – így Ön minimálisra csökkenti az üzemeltetési költségeket. A generátorok robusztus felépítése hosszabb üzemidőket és így nagyobb bevonatolási arányt tesz lehetővé még kritikus folyamatokban is. A CombineLine technológiával hatékonyan megakadályozhatók a plazma ingadozások valódi 50 ohmos kimenő impedanciával – így abszolút stabil folyamatokat tesz lehetővé.
Biztonság minden körülményben
A robusztus felépítés az eljárás maximális megbízhatóságáról és termelékenységéről gondoskodik. A 100%-os rossz illesztés elleni védelem biztonságos üzemet biztosít kritikus terhelés esetén is. Az opcionálisan folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás a folyamatkövetelmények nagy sávszélességét támogatja. Világszerte már több mint 20.000 egységet telepítettek – többet, mint bármelyik másik plazma áramellátásból.
A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális hozzáigazítását teszik lehetővé.
A TRUMPF RF rendszer minden komponense optimálisan egymásra van hangolva.
Tökéletesen egymásra hangolva: generátor és matchbox
Minimális költségek, maximális eredmények
A TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) sorozat a legújabb generációs nagyfrekvenciás generátorok, melyek kiváló feltételeket biztosítanak a stabil plazma-áramellátáshoz.
TruPlasma RF 3000 sorozat brosúra
TruPlasma RF rendszer brosúra