இக்கோயிலின் தலைமைச் சிற்பி குஞ்சர மல்லன் ராஜராஜப்பெருந்தச்சன் எனக் கோயிலின் கல்வெட்டுகளில் குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது. கோயிலின் அடிப்பாகம் 5 மீட்டர் (16 அடி) உயரம் கொண்டுள்ளது. ஒரே கல்லில் அமைக்கப்பட்டுள்ள நந்தி 20 டன் எடையும், இரண்டு மீட்டர் உயரம், ஆறு மீட்டர் நீளம், இரண்டரை மீட்டர் அகலமும் கொண்டதாகவும், <MASK> கோயில் நந்திக்கு அடுத்தபடியாக, இந்தியாவிலேயே இரண்டாவது பெரிய நந்தியுமாகவும் உள்ளது. முதன்மைக் கடவுளான இலிங்கம் 3.7 மீட்டர் உயரமானது.  வெளிப் பிரகாரம்  240 மீ. x 125 மீ. அளவிலானது. 108  பரத நாட்டிய முத்திரைகளைக் காட்டும் நடனச் சிற்பங்கள் வெளிச்சுவற்றின் மேற்பகுதியில் வடிக்கப்பட்டுள்ளன. பிற்காலத்தில் பாண்டியர்களால் 13 ஆம் நூற்றாண்டில் அம்மன் சன்னிதியும் விசயநகர அரசர்களால் முருகர் சன்னிதியும் கட்டப்பட்டு, மராத்திய அரசர்களால் விநாயகர் சன்னிதி புதுப்பிக்கப்பட்டது. தஞ்சை நாயக்கர்களாலும் இக்கோயில் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.
தஞ்சைப் பெருவுடையார் கோயில்
தஞ்சாவூரிலுள்ள லேபாக்ஷி திருவாரூர் கான்பூர்