MEMS (ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್) ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್‌ನನ್ನು ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ ಚಿಪ್ ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ ಎಂದು ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ. MEMS ವಿಧಾನಗಳ ಸಹಾಯದಿಂದ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಿ (ಪ್ರೆಶರ್-ಸೆನ್ಸಿಟಿವ್) ಧ್ವನಿಫಲಕವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್ ನಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದ್ದು, ಇದರೊಂದಿಗೆ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಪ್ರೀಅಂಪ್ಲಿಫೈರ್ ಇರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚು MEMS ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್‌ಗಳು ಕಂಡೆನ್ಸರ್ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ ಡಿಸೈನ್ ನ ಭಿನ್ನ ರೂಪಗಳಾಗಿವೆ. ಹೆಚ್ಚಾಗಿ MEMS ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್‌ಗಳು ಅದೇ CMOS ಚಿಪ್ ಮೇಲೆ ಅನಲಾಗ್-ಟು-ಡಿಜಿಟಲ್ ಪರಿವರ್ತಕ (ADC) ಸರ್ಕಿಟ್ ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಇದರಿಂದಾಗಿ, ಚಿಪ್ ಒಂದು ಡಿಜಿಟಲ್ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ ಆಗುವುದು ಮತ್ತು ಆಧುನಿಕ ಡಿಜಿಟಲ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗಳ ಸಾಲಿಗೆ ಸೇರಿಕೊಂಡಿದೆ. MEMS ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್‌ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತಿರುವ ಪ್ರಮುಖ ಸಂಸ್ಥೆಗಳೆಂದರೆ, ವೂಲ್ಫ್‌ಸನ್ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ (WM7xxx), ಅನಲಾಗ್ ಡಿವೈಸಸ್, ಅಕುಸ್ಟಿಕಾ(AKU200x), ಇನ್ಫಿನಿಯನ್ (SMM310 ಪ್ರಾಡಕ್ಟ್), ನೋಲೆಸ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಮೆಮ್‌ಸ್ಟೆಕ್(MSMx), NXP ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಸ್, ಸೋನಿಯನ್ MEMS, AAC ಅಕೌಸ್ಟಿಕ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜೀಸ್, and ಓಮ್ರಾನ್. 

ಯುನಿಡೈರೆಕ್ಷನಲ್
ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ ಅರೇ ಮತ್ತು ಅರೇ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್‌ಗಳು
MEMS ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್
ಕಾರ್ಬನ್ ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್