স্থির মিথষ্ক্রিয়া পদ্ধতির স্ক্যানে (প্রায়ই "প্রতিক্রিয়াশীল" বলে চিহ্নিত) একটি প্রতিক্রিয়া চক্র ব্যবহার করে প্রোবটিকে নমুনাপৃষ্ঠ হতে z-অক্ষ বরাবর নিকট- বা দূরবর্তী করা হতে থাকে যেন মিথষ্ক্রিয়া সর্বদা সমহারে চলমান থাকে।

মিথষ্ক্রিয়া এসপিএম এর ধরনের ওপর নির্ভরশীল, যেমন এসটিএম এর ক্ষেত্রে সুড়ঙ্গ প্রবাহ, অথবা সংস্পর্শীয় এএফএম বা এমএফএম এর ক্ষেত্রে ক্যান্টিলিভারের গতিপথ বদল। ব্যবহৃত প্রতিক্রিয়া চক্রটি সাধারণত একটি পিআই চক্র, যা মূলত একটি পিআইডি-চক্র যার পার্থক্যজনিত বর্ধন শুন্য করে রাখা হয়েছে (কারণ এটি স্পষ্টতা হ্রাস করে)। প্রোবের অগ্রভাগের z-অক্ষের অবস্থান (স্ক্যানিং তলটি xy-তলে বিস্তৃত) কিছু সময় পর পর গণনা করা হয় এবং তাপীয় চিত্র হিসেবে প্রদর্শিত হয়। এটি সাধারণত ভু-সাংস্থানিক চিত্র হিসেবে পরিচিত।

এ পদ্ধতিতে "ত্রুটি সংকেত" বা "ত্রুটি চিত্র" নামক দ্বিতীয় একটি চিত্র গঠন করা হয়, যা মিথষ্ক্রিয়ার থেকে আগত প্রতিক্রিয়ার তাপীয় চিত্র। নিখুঁত পরিবেশে প্রতিক্রিয়া চক্রে প্রেরিত একটি ধ্রুবক মানের জন্য এই চিত্রটি ফাঁকা হবে। তবে বাস্তবে এ চিত্রটি অস্পষ্টতাপূর্ন ও নমুনাপৃষ্ঠের গঠনের কিছু চিহ্ন ধারণ করে। এই ত্রুটি চিত্রের সাহায্যে প্রতিক্রিয়ার প্রাপ্তি পরিবর্তন করে ত্রুটি সংকেতের বৈশিষ্ট্য হ্রাস করা যায়।

যদি প্রাপ্তি ত্রুটিপূর্ণভাবে নির্বাচন করা হয়, তবে চিত্রে বিভিন্ন অস্বাভাবিকতা দেখা দেয়। প্রাপ্তি অপ্রতুল হলে চিত্রের বৈশিষ্ট্যসমূহ প্রলিপ্ত হয়ে দেখা যেতে পারে, আবার অত্যধিক হলে প্রতিক্রিয়া ভারসাম্যহীন হয়ে পড়ে ও কম্পনশীল হতে পারে, ফলে চিত্রে ডোরাকাটা গঠন দেখা যেতে পারে, যা বাস্তবে অনুপস্থিত।

সুবিধা
প্রোবের অগ্রভাগ
স্থির মিথষ্ক্রিয়া পদ্ধতি
স্থির উচ্চতা পদ্ধতি