10 മൈക്രോമീറ്ററിൽ കുറഞ്ഞ വലിപ്പമുള്ള ചിത്രങ്ങൾ അച്ചടിക്കുന്നത് മൈക്രോലിത്തോഗ്രാഫിയായാണ് പരിഗണിക്കുന്നത്. 100 ‌നാനോമീറ്ററിൽ ചെറിയ രൂപങ്ങൾ അച്ചടിക്കുന്നത് നാനോലിത്തോഗ്രാഫിയായി കണക്കാക്കുന്നു. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഇത്തരമൊരു രീതിയാണ്. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിനും മൈക്രോചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനു ഇതുപയോഗിക്കുന്നു. 

ഇലക്ട്രോൺ ബീം ലിത്തോഗ്രാഫി വളരെ സൂക്ഷ്മമായ അച്ചടിക്ക് ഉപയോഗിക്കാവുന്ന മാർഗ്ഗമാണ്. 

ധാരാളം സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വികസിപ്പിക്കപ്പെടുന്നുമുണ്ട്. നാനോ ഇംപ്രിന്റ് ലിത്തോഗ്രാഫി, ഇന്റർഫെറൻസ് ലിത്തോഗ്രാഫി, എക്സ്റേ ലിത്തോഗ്രാഫി, എക്സ്ട്രീം അൾട്രാവയലറ്റ് ലിത്തോഗ്രാഫി, മാഗ്നറ്റോലിത്തോഗ്രാഫി, സ്കാനിംഗ് പ്രോബ് ലിത്തോഗ്രാഫി എന്നിവ ഇത്തരം ചില മാർഗ്ഗങ്ങളാണ്. 

മൈക്രോലിത്തോഗ്രാഫിയും നാനോലിത്തോഗ്രാഫിയും
ചുണ്ണാമ്പുകല്ലിലെ ലിത്തോഗ്രാഫി
ലിത്തോഗ്രാഫി കലയുടെ മാദ്ധ്യമം എന്ന നിലയിൽ
ലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ തത്ത്വങ്ങൾ