ഒരു ഇലക്ട്രോൺ മറ്റൊരു ഇലക്ട്രോണുമായി കൂട്ടിമുട്ടുന്നതിനിടയ്ക്കുള്ള ചലനപാതയുടെ ശരാശരി ദൈർഘ്യം(Mean free path) കൂട്ടുന്നതിനായി ടി.ഇ.എമ്മുകളിൽ ഏകദേശം 10 പാസ്കൽ ശൂന്യതയുണ്ടാകും. ഇതുകൊണ്ട് രണ്ടു ഗുണങ്ങളുണ്ട്:കാഥോഡും ഗ്രൗണ്ടും തമ്മിലുള്ള വോൾട്ടേജ് വ്യത്യാസം കൊണ്ടുണ്ടാകാവുന്ന ആർക്കിനെ പ്രതിരോധിക്കുക,ഇലക്ട്രോണും വായുവിലുള്ള മറ്റു വാതകങ്ങളും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിമുട്ടൽ ഒഴിവാക്കുക എന്നിവയാണവ.നിരീക്ഷിക്കപ്പെടേണ്ട വസ്തു വയ്ക്കേണ്ട ഹോൾഡർ, ഫിലിം കാറ്ററിഡ്ജുകൾ തുടങ്ങിയവ വയ്ക്കുകയും എടുക്കുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ ഈ ശൂന്യതയ്ക്ക് കോട്ടം തട്ടാതിരിക്കാനായി ടി ഇ എമ്മുകളിൽ ഒന്നിലധികം വാക്വം പമ്പുകളും എയർ ലോക്ക് സംവിധാനങ്ങളും ഉണ്ടാകും.

ട്രാൻസ്മിഷൻ ഇലക്ട്രോൺ സൂക്ഷ്മദർശിനിയിലെ വാക്വം സിസ്റ്റത്തിന് പല തലങ്ങളുണ്ട്.റോട്ടറി പമ്പോ ഡയഫ്രം പമ്പോ ഉപയോഗിച്ച് ആദ്യം ഒരു ചെറിയ ശൂന്യത സൃഷ്ടിക്കുന്നു.അതിനു ശേഷം ടർബോമോളിക്കുലാർ പമ്പോ ഡിഫ്യൂഷൻ പമ്പോ ഉപയോഗിച്ച് ടി ഇ എമ്മിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിനാവശ്യമായ വലിയ ശൂന്യതയിലെത്തുന്നു. ചെറിയ ശൂന്യത സൃഷ്ടിക്കാനുള്ള പമ്പുകൾ വലിയ ശൂന്യതയുണ്ടാക്കുന്ന പമ്പുകൾ പുറന്തള്ളുന്ന വാതകങ്ങളുടെ ചേമ്പറുമായി യോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു. ഒരു ടി ഇ എമ്മിന്റെ വിവിധ ഭാഗങ്ങളിലെ ശൂന്യതയും ഒരുപോലെയായിരിക്കില്ല.മർദ്ദം നിയന്ത്രിക്കാനുള്ള അപ്പെർച്വറുകൾ വഴി വ്യത്യസ്ത ഭാഗങ്ങളിൽ വ്യത്യസ്ത മർദ്ദം ഉണ്ടാക്കുന്നു.

വളരെ വലിയ വോൾട്ടേജ് ഉപയോഗിക്കുന്ന ട്രാൻസ്മിഷൻ ഇലക്ട്രോൺ സൂക്ഷ്മദർശിനികളിൽ കാഥോഡിലെ ഇലക്ട്രിക് ആർക് തടയാനായി 10 മുതൽ 10 പാസ്കൽ വരെ മർദ്ദം അത്യാവശ്യമാണ്.അത്തരം ഉപകരണങ്ങളിൽ മുകളിൽപ്പറഞ്ഞതു കൂടാതെ മൂന്നാമതൊരു വാക്വം പമ്പ് കൂടി ഉണ്ടാകാം.അവയിൽ ഇലക്ട്രോൺ സ്രോതസ്സ് മറ്റുഭാഗങ്ങളിൽ നിന്നും ഗേറ്റ് വാൽവ് ഉപയോഗിച്ചോ ഡിഫറൻഷ്യൽ പമ്പിങ് അപ്പെർച്വർ ഉപയോഗിച്ചോ വേർതിരിക്കുന്നു.ഉയർന്ന ശൂന്യതയിൽ നിന്നും താഴ്ന്ന ശൂന്യതയിലേക്ക് വാതകകണങ്ങൾ കടന്നു പോകുന്നത് തടയുന്ന ഒരു ചെറിയ ദ്വാരമാണ് ഡിഫറൻഷ്യൽ പമ്പിങ് അപ്പെർച്വർ.

ടി.ഇ.എമ്മുകളിലെ ശൂന്യത മോശമായാൽ നിരവധി പ്രശ്നങ്ങൾ ഉണ്ടാവാം. വാതകങ്ങൾ നിരീക്ഷിക്കപ്പെടേണ്ട വസ്തുവിൽ അടിഞ്ഞു കൂടുക,ഇലക്ട്രിക് ആർക് മുഖേന കാഥോഡ് പ്രവർത്തനരഹിതമാകുക എന്നിവയാണ് അവയിൽ ചിലത്.ഉത്പതനം മൂലം ശൂന്യത മോശമാകാതിരിക്കാൻ അങ്ങനെയുണ്ടാകുന്ന വാതകങ്ങളെ കോൾഡ് ട്രാപ്പ് ഉപയോഗിച്ച് അധിശോഷണം ചെയ്യുന്നു 

ചരിത്രം
കൂടുതൽ കൃത്യതയ്ക്കായുള്ള ശ്രമം
ഇലക്ട്രോൺ ഊർജ്ജനഷ്ടം
വാക്വം സിസ്റ്റം