ഒരു സൂക്ഷ്മദർശിനിക്ക് സാധ്യമായ കൃത്യത(Resolution),d, അതിലുപയോഗിക്കുന്ന തരംഗത്തിന്റെ തരംഗദൈർഘ്യത്തെയും ആ സൂക്ഷ്മദർശിനിയുടെ ന്യൂമറിക്കൽ അപേർചറിനെ(NA)യും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.

ഇരുപതാം നൂറ്റാണ്ടിന്റെ ആദ്യം മുതൽക്കു തന്നെ താരതമ്യേന വലിയ തരംഗദൈർഘ്യം ഉള്ള ദൃശ്യപ്രകാശത്തെക്കാൾ(400 മുതൽ 700 വരെ നാനോമീറ്റർ) കൃത്യത നൽകാൻ വളരെ വലിയ ഊർജ്ജം ഉള്ള (അതായത് വളരെ ചെറിയ തരംഗദൈർഘ്യം) ഇലക്ട്രോണുകൾക്ക് കഴിയും എന്നു ശാസ്ത്രജ്ഞർ കണക്കുകൂട്ടി. ഇലക്ട്രോണുകളുടെ ദ്വൈതസ്വഭാവമനുസരിച്ച് അവയെ ഒരു വിദ്യുത്കാന്തികതരംഗം പോലെ കണക്കാക്കാം. അവയുടെ തരംഗദൈർഘ്യവും ഗതികോർജ്ജവും ഡിബ്രോളി സമവാക്യത്തിലൂടെ ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. ട്രാൻസ്മിഷൻ ഇലക്ട്രോൺ സൂക്ഷ്മദർശിനിയിലെ ഇലക്ട്രോണുകൾ പ്രകാശത്തോടടുത്ത വേഗതയിൽ സഞ്ചരിക്കുന്നതിനാൽ വിശിഷ്ട ആപേക്ഷികസിദ്ധാന്തവും ഡിബ്രോളി സമവാക്യവും താഴെക്കാണും വിധം സംയോജിപ്പിക്കാം.

ഇവിടെ h പ്ലാങ്ക് സ്ഥിരാങ്കവും m ഇലക്ട്രോണിന്റെ പിണ്ഡവും E ഇലക്ട്രോണുകളുടെ ഊർജ്ജവുമാണ്. സാധാരണ ഗതിയിൽ താപായണിക ഉൽസർജ്ജനം (Thermionic Emission) വഴിയോ വിദ്യുത്-കാന്തിക ക്ഷേത്ര ഉത്സർജ്ജനം(Field Emmission) വഴിയോ ആണ് ഇലക്ട്രോണുകൾ പുറന്തള്ളപ്പെടുന്നത്. ഇങ്ങനെയുണ്ടാകുന്ന ഇലക്ട്രോണുകൾക്ക് ഒരു വലിയ വോൾട്ടേജിന്റെ സഹായത്താൽ ആവശ്യമായ ത്വരണം നൽകി നിരീക്ഷിക്കപ്പെടേണ്ട വസ്തുവിലൂടെ കടത്തിവിടുന്നു.

ഇലക്ട്രോണുകൾ
കോണ്‌ട്രാസ്റ്റ് ഉണ്ടാകൽ
ബ്രൈറ്റ് ഫീൽഡ്
അപ്പെർച്വറുകൾ