നിരീക്ഷണത്തിലിരിക്കുന്ന പ്രതലത്തിനെ ഉയർന്ന ഊർജാവസ്ഥയിലുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ബീം കൊണ്ട് സ്കാൻ ചെയ്യുന്നു (Raster Scanning). അപ്പോൾ സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്ന ദ്വിതീയ ഇലക്ട്രോണുകൾ, തട്ടിത്തെറിച്ചു തിരിച്ചുവരുന്ന (back scattered) ഇലക്ട്രോണുകൾ, എക്സ് റേ തുടങ്ങിയവ അപഗ്രഥിച്ചാണ് പ്രതലത്തെ വലുതാക്കിക്കാണിക്കുന്നത്. 1930-കളിലാണ് SEM കണ്ടെത്തിയത്. ഇതിന്റെ മുകളറ്റത്തുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ഗണ്ണിൽനിന്ന് പുറത്തേക്ക് വരുന്ന ബീം വിവിധ കണ്ടൻസർ, ഡിഫ്ളകഷൻ കോയിൽ എന്നിവ വഴി സഞ്ചരിച്ച് ശക്തി സംഭരിച്ചാണ് പരീക്ഷണപ്രതലത്തിൽ പതിക്കുന്നത്. ദ്വിതീയ ഇലക്ട്രോണുകൾ, എക്സ്റേ എന്നിവ തിരിച്ചറിയാനുള്ള സംവിധാനങ്ങൾ ഉപകരണത്തിൽ സന്നിവേശിപ്പിച്ചിട്ടുണ്ട്.

സ്കാനിങ് ഇലക്ട്രോൺ മൈക്രോസ്കോപ്
ഗവേഷണം
സാധ്യതകൾ
നേട്ടങ്ങൾ