ഇതിൽ പരീക്ഷണ വസ്തുവിലൂടെ നുഴഞ്ഞുകടക്കുന്ന (tunnelling എന്ന ക്വാണ്ടം പ്രതിഭാസം) വൈദ്യുതി തിട്ടപ്പെടുത്തിയാണ് ആറ്റമികതലത്തിലെ സൂക്ഷ്മ ചിത്രങ്ങളാക്കുന്നത്. എൺപതുകളുടെ തുടക്കത്തിൽ ഗേർഡ് ബിന്നിങ് (Gerd Binning), ഹെന്റിച്ച് റോഹ്റർ എന്നിവരാണ് ഇത് വികസിപ്പിച്ചെടുത്തത്. ഉപകരണത്തിലെ അതിസൂക്ഷ്മാഗ്രം പരീക്ഷണപ്രതലത്തിന് സമീപത്തേക്ക് കൃത്യമായ അകലത്തിൽകൊണ്ടുവരും. ടണലിങ് കറന്റ് ആംപ്ലിഫയർ, വിദൂര നിയന്ത്രണ/സ്കാനിങ് സംവിധാനം (distance control and scanning unit) എന്നിവ ചേർന്നതാണ് ഉപകരണം. അടിസ്ഥാന മാതൃകയെ അവലംബിച്ച് സ്കാനിങ് ടണലിങ് മൈക്രോസ്കോപ്പിന്റെ മറ്റ് രൂപാന്തരങ്ങളും എത്തിയിട്ടുണ്ട്. ഫോട്ടോൺ എസ്.ടി.എം ഉദാഹരണം.

ദോഷവശങ്ങൾ
സാധ്യതകൾ
നാനോ പദാർഥങ്ങൾ
സ്കാനിങ്ങ് ടണലിങ് മൈക്രോസ്കോപ്