ഇതിൽ ഇലക്ട്രോൺ ബീം അതിലോലമായ പദാർഥ പാളിയിലൂടെ കടത്തിവിടുന്നു. പരീക്ഷണ വസ്തുവിന്റെ സ്വഭാവത്തിനനുസരിച്ച് പുറത്തേക്കെത്തുന്ന ഇലക്ട്രോണിന് മാറ്റം വരാം. ഇതിനെ അപഗ്രഥിച്ചാണ് ചിത്രം രൂപപ്പെടുത്തുന്നത്. ഇതിലേക്ക് വേണ്ട നേർത്ത പാളി ഒരുക്കുന്നത് അതീവസങ്കീർണമായ പ്രക്രിയയാണ്.

സ്കാനിംഗ് പ്രോബ് മൈക്രോസ്കോപ്പിയെ സ്കാനിങ് ടണലിങ് എന്നും ആറ്റമിക് ഫോഴ്സ് മൈക്രോസ്കോപ്പി എന്നും രണ്ട് വിഭാഗമായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു. 

സൂക്ഷ്മദർശിനികൾ
ആറ്റമിക ഫോഴ്സ് മൈക്രോസ്കോപ്
സ്കാനിങ് ഇലക്ട്രോൺ മൈക്രോസ്കോപ്
ട്രാൻസ്മിഷൻ ഇലക്ട്രോൺ മൈക്രോസ്കോപ്