1900-களின் ஆரம்ப காலங்களில் ஒளிநுண்ணொக்கிக்கு மாற்று கண்டுபிடிக்க முயற்சித்தபோது கண்டுபிடிக்கப்பட்டதே எல்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் ஆகும்.ஏர்னஸ்ட் ரஸ்கா என்பவர் முதன் முதலில் 1931-இல் பரிமாற்ற எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியினைக் (TEM) கண்டுபிடித்தார். மிகப்பெரிய தெளிவான படிமங்களை அவை தந்ததால் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் வரவேற்கப்பட்டன.இதைத் தொடர்ந்து ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் மேக்ஸ் க்னால் என்பவரால் 1935-ஆம் ஆண்டு கண்டுபிடிக்கப்பட்டது.எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் இரண்டாம் உலகப்போரின் போது மிகவும் பிரபலமாகின.இதன் பின் முதல் முதலாக வர்த்தக பரிமாற்ற எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியிணை 1965-ஆம் ஆண்டு சார்லஸ் ஓட்லே என்பவர் வடிவமைத்தார்.

வரலாறு
ஒளிர்வு ஒளி நுண்ணோக்கிகள்
நுண்ணோக்கி வகைகள்
எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி