ন্যানোলিথোগ্রাফি দ্বারা স্ব-একত্রিত একস্তরের (স্যাম) ব্যবহার হয়। স্যাম হল দীর্ঘ চেইন (শিকল) অ্যালক্যানোথিওলেট যা স্বর্ণ পৃষ্ঠতলের উপর ক্রমান্বয়ে একস্তরীয় রূপে সাজানো হয়। উচ্চ গুণ সম্পন্ন গঠন, যার পার্শ্বীয় মাত্রা ৫ ন্যানোমিটার থেকে ৫০০ ন্যানোমিটার, গঠন করতে পারাই হল এই পদ্ধতির সুবিধা। এই পদ্ধতিতে পলিডাইমিথাইলসাইলোক্সেন (পিডিএমএস) নির্মিত সজ্জিত ইলাস্টোমার মাস্ক-রূপে ব্যবহৃত হয়। পিডিএমএস বানাতে সিলিকন বিস্কুটের উপর আলোক প্রতিরোধী আবরণের পাতলা স্তর ফেলা হয়। তার পরে ঐ স্তরটিতে অতিবেগুণী রশ্মি ফেলা হয় ও শেষে আলোক প্রতিরোধী আবরণটি ধুয়ে সরিয়ে দেওয়া হয়। প্রাক-পলিমার-টির পুরুত্ব কমাতে পারফ্লুরোঅ্যালকাইলট্রাইক্লোরোসাইলেন বস্তুটির উপরে ব্যবহৃত হয় । এর ফলে পিডিএমএস ইলাস্টোমার গুলি সমতলীয় ও বক্রতলীয় পৃষ্ঠতলে মাইক্রন এবং নিম্ন্তর-মাইক্রন সজ্জান্বিত হতে সাহায্য লাভ করে।

স্যামস
ব্যবহারিক প্রয়োগ
ন্যানোলিথোগ্রাফি
স্মরণীয় গবেষক