চিত্র গঠনের জন্য স্ক্যানিং প্রোব মাইক্রোস্কোপ প্রথমে প্রোবের অগ্রভাগ নমুনাপৃষ্ঠের ওপর দিয়ে বর্গক্ষেত্রিক নকশার আকারে স্ক্যান করে। স্ক্যানের স্বতন্ত্র বিন্দুতে এক-একটি মান নথিভুক্ত করা হয় (যা এসপিএম এর প্রকাভেদ ও কার্যপ্রণালীর ওপর নির্ভরশীল)। এই মানগুলোর সমন্বয়কে একটি তাপীয় মানচিত্র হিসেবে দেখানো যায়, এবং এর থেকেই চূড়ান্ত এসটিএম চিত্র গঠন করা হয়। এই চিত্র সাধারণত সাদা-কালো অথবা কমলা পর্যায়ের রঙ ব্যবহার করে রঞ্জিত থাকে।

অসুবিধা
প্রোবের অগ্রভাগ
চিত্রায়ণ ও বিশ্লেষণ সফটওয়্যার
চিত্র গঠন