স্থির উচ্চতা পদ্ধতিতে র‌্যাস্টার স্ক্যানকালে প্রোবটি z-অক্ষ বরাবর নড়াচড়া করে না বরং পরীক্ষাধীণ মিথষ্ক্রিয়ার মান নথিভুক্ত করা হয় (যেমন এসটিএম-এর ক্ষেত্রে সুড়ঙ্গ প্রবাহ, অথবা নিয়ন্ত্রিত অসংযুক্ত বিস্তারের এএফএম এর ক্ষেত্রে ক্যান্টিলিভারের দোলনের বিস্তার)। এভাবে প্রাপ্ত তথ্যভিত্তিক তাপীয় চিত্র সাধারণত স্থির উচ্চতাসম্পন্ন চিত্র বলে পরিচিত।

স্থির মিথষ্ক্রিয়া পদ্ধতির তুলনায় স্থির উচ্চতা পদ্ধতি অত্যন্ত জটিল, কারণ নমুনাপৃষ্ঠের সঙ্গে প্রোবের সংঘর্ষের সম্ভাবনা রয়েছে। সাধারণত স্থির উচ্চতা পদ্ধতি শুরু করার আগে স্থির মিথষ্ক্রিয়া পদ্ধতি ব্যবহার করা হয় নমুনার নিরীক্ষণীয় অঞ্চলের পৃষ্ঠে কোন বৃহদাকায় দূষণ নেই এটি নিশ্চিত হবার জন্য, নমুনার ঢাল পরিমাপ ও সংশোধনের জন্য এবং (বিশেষত ধীরগতির স্ক্যানের ক্ষেত্রে) নমুনার তাপীয় বিচ্যুতি পরিমাপ ও সংশোধনের জন্য. পাইজোবৈদ্যুতিক সরণও একটি সমস্যার কারণ হতে পারে, তাই স্থির উচ্চতা পদ্ধতির স্ক্যানের পূর্বে বড় গতিবিধির পর মাইক্রোস্কোপটির স্থিতির জন্য কিছু সময় অপেক্ষা করতে হয়।

প্রতিক্রিয়া-জনিত অস্বাভাবিকতা দূর করতে স্থির উচ্চতা পদ্ধতি কার্যকর হতে পারে।

প্রোবের অগ্রভাগ
স্বীকৃত প্রকারভেদ
স্থির উচ্চতা পদ্ধতি
স্থির মিথষ্ক্রিয়া পদ্ধতি