মেটাকম্পাইলারসমূহ মেটাভাষায় লিখিত প্রোগ্রাম ইনপুটে গ্রহণ করে। এদের ইনপুটে ব্যাকরণ নিরীক্ষণ ফরমুলা এবং কোড নির্মাণ প্রণালী উপস্থিত থাকে যা এক্সিকিউটেবল কোড আউটপুটে নির্গমণ করতে সক্ষম। মেটাকম্পাইলারসমূহ তার নিজস্ব মেটাভাষায় লিখিত হতে পারে, ফলস্বরূপ তারা নিজেকে কম্পাইল করার সক্ষমতা লাভ করে্ এধরনের মেটাকম্পাইলার স্ব-আশ্রিত সম্প্রসারণযোগ্য ভাষার কম্পাইলার হিসেবে কাজ করতে পারে।

অধিকাংশ মেটাকম্পাইলার ডিউয়ি ভ্যাল শোর এর কাজের ভিত্তিতে গঠিত। ১৯৬৪ সালে প্রকাশিত তাঁর মেটা ২ (META II) কম্পাইলারটিই প্রথম মেটাকম্পাইলার হিসেবে স্বীকৃত। এটি নিজের সোর্স কোডের ভাষা এবং অন্যান্য ভাষা বর্ণনা করতে সক্ষম এবং কোড নির্মাণকারী সিনট্যাক্স ফরমুলা ইনপুটে গ্রহণ করে। এটি ভার্চুয়াল মেশিনেরও শুরুর দিকের অন্যতম একটি উদাহরণ।

১৯৬৮ সালে প্রকাশিত ট্রি-মেটা (TREE-META) একটি দ্বিতীয় প্রজন্মের মেটাকম্পাইলার। এটি মেটা ২ এর ক্ষমতা বর্ধিত করে, এবং ব্যাকরণ নিরীক্ষা ও কোড নির্মাণে পার্থক্যকারী "আনপার্স" ("unparse") বিধিমালা যোগ করে। ট্রি রুপান্তর প্রণালীর মাধ্যমে "বিমূর্ত গাঠনিক ট্রি" বা অ্যাবস্ট্রাক্ট সিনট্যাক্স ট্রি তৈরি করা হয়, এবং আনপার্স বিধিসমূহ এই ট্রি এর ওপর কাজ করে। এই প্রক্রিয়ায় পীপ-হোল উৎকর্ষের সুযোগ রয়েছে।

১৯৭০ সালে এসিএমের একটি প্রকাশনায় সিডব্লিউআইসি নামক একটি তৃতীয় প্রজন্মের মেটাকম্পাইলারের বর্ণনা করা হয়, যা অভিধাননিরীক্ষণ বিধিমালা এবং পশ্চাৎগামীতা যোগ করে। এই মেটাকম্পাইলারে লিস্প ২ ব্যবহৃত হয়েছিল। এতে নির্দিষ্ট নামসম্পন্ন বাইনারি কোডের খন্ডাংশ নির্মাণ করা সম্ভব হয়েছিল। এছাড়া এটি একক এবং একাধিকবার চলনযোগ্য কম্পাইলার তৈরির সুবিধা ছিল। সিডব্লিউআইসি নকশা করা হয়েছিল আইবিএমের সিস্টেম/৩৬০ কম্পিউটারে চালানোর উদ্দেশ্যে।

মেটাকম্পাইলার
জাস্ট-ইন-টাইম কম্পাইল
এক্সপিএল (XPL)
এলআর (LR) পার্সার