વેક્યૂમ તંત્રોની વિશાળ વિવિધતાઓમાં વેક્યૂમ પંપમાં ચેમ્બર (એક બંધ ભાગ) અને સંચાલન પ્રક્રિયાઓ આવેલી હોય છે. કેટલીક વખત એક જ ઉપકરણમાં એક કરતા વધારે પંપનો (શ્રેણીમાં અથવા સમાંતર રીતે) ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. પોઝિટિવ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પંપનો ઉપયોગ કરીને તબક્કાવાર વેક્યૂમ, અથવા રફ વેક્યૂમ રચી શકાય છે જે વાયુના ભારણને ઈનલેટ પોર્ટ (પ્રવેશ દ્વાર) થી આઉટલેટ પોર્ટ (નિકાસ દ્વાર) સુધી લઈ જાય છે. યાંત્રિક મર્યાદાઓના કારણે આવા પંપ માત્ર ઓછુ વેક્યૂમ જ મેળવી શકે છે. ઉચ્ચ વેક્યૂમ મેળવવા માટે ફરજિયાતપણે અન્ય તકનિકોનો ઉપયોગ જરૂરી છે, વિશેષ રીતે શ્રેણીઓમાં (સામાન્યપણે નીચેની બાજુએ પ્રારંભિક ઝડપી પંપની સાથે પોઝિટિવ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પંપ રાખવામાં આવે છે). કેટલાક ઉદાહરણોમાં સંભવતઃ ઓઈલ સિલ કરેલા રોટરી વેન પંપનો ઉપયોગ થઈ શકે છે (સૌથી સામાન્ય પોઝિટિવ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પંપ) જેને ડીફ્યૂઝન પંપથી મદદરૂપ બળ પુરુ પાડવામાં આવે છે, અથવા ટર્બોમોલેક્યૂરલ પંપના મદદરૂપ બળ સાથેના સૂકા સ્ક્રોલ પંપનો ઉપયોગ થઈ શકે છે. વેક્યૂમની જરૂરિયાતના સ્તર આધારિત અન્ય પણ કેટલાક જોડાણો છે.

ઉચ્ચ વેક્યૂમ મેળવવું ઘણું મુશ્કેલ છે કારણ કે આઉટગેસિંગ અને બાષ્પ દબાણના ગુણધર્મો માટે વેક્યૂમમાં ઉજાગર થયેલા તમામ પદાર્થો ખૂબ જ કાળજીપૂર્વક બહાર કાઢવા જરૂરી છે. ઉદાહરણ તરીકે જોઈએ તો, જ્યારે વેક્યૂમ ઉત્પન કરવામાં આવે ત્યારે વેક્યૂમ ચેમ્બરને સિલ કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતા ઓઈલ, ગ્રીસ અને રબર, અથવા પ્લાસ્ટિક ગેસકિટ ઉકળવા ન જોઈએ, અન્યથા તેમાંથી ઉત્પન થતા વાયુઓ ઈચ્છીત સ્તરનું વેક્યૂમ રચવામાં અવરોધો ઉભા કરશે. અનેક કિસ્સાઓમાં, વેક્યૂમ માટે ઉજાગર કરેલી તમામ સપાટીઓ ઊંચા તાપમાને ગરમ કરેલી હોવી જરૂરી છે જેથી સંચિત વાયુનું વહન કરી શકાય.

વેક્યૂમ પંમ્પિંગ પહેલા ભેજ મુક્તિની કામગીરીથી આઉટગેસિંગનું પ્રમાણ ઓછુ કરવું જરૂરી છે.
ઉચ્ચ વેક્યૂમ તંત્રોમાં સામાન્યપણે ધાતુના ચેમ્બર અને સામાન્ય રીતે ઓછા વેક્યૂમ ચેમ્બરોને સિલ કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતા રબર ગેસકિટના બદલે ક્લેઈન ફ્લેંજ્સ અથવા આઈએસઓ (ISO) ફ્લેંજ્સ જેવા ધાતુના ગેસકિટનો ઉપયોગ થાય છે. આઉટગેસિંગના પ્રમાણને ઓછુ કરવા માટે સમગ્ર તંત્ર એકદમ ચોખ્ખુ અને કાર્બનિક પદાર્થોમુક્ત હોવું જરૂરી છે. ઘન અને પ્રવાહી એવા તમામ પદાર્થોમાં, બાષ્પનું દબાણ ઓછુ હોય છે, અને જ્યારે વેક્યૂમનું દબાણ આ બાષ્પના દબાણ કરતા ઓછુ હોય ત્યારે તેનું આઉટગેસિંગ મહત્વપૂર્ણ બની જાય છે. પરિણામ સ્વરૂપે સંખ્યાબંધ પદાર્થો જેમકે એપોક્સી વગેરે ઓછા વેક્યૂમમાં સારી રીતે કામ કરતી શકતા હોય, તેઓ ઉચ્ચ વેક્યૂમાં આઉટગેસિંગના સ્ત્રોતરૂપ બની જાય છે.
આ શ્રેષ્ઠતમ સાવચેતીઓ સાથે, વિવિધ મોલેક્યૂલર પંપની મદદથી 1 એમપીએ (mPa) વેક્યૂમ ખૂબ સરળતાથી પ્રાપ્ત કરી શકાય છે. કાળજીપૂર્વકની રૂપરેખા તૈયાર કરવામાં આવે તો 1 µPa પણ શક્ય છે.

કેટલાક પંપો શ્રેણીમાં અથવા સમાંતર રીતે પણ ઉપયોગમાં લઈ શકાય છે. લાક્ષણિક પંપડાઉન હરોળમાં, ચેમ્બરમાંથી મોટાભાગના વાયુને દુર કરવા માટે વાતાવરણથી શરૂ થતા (760 ટોર (Torr), 101 કેપીએ (kPa)) થી 25 ટોર (Torr) (3 કેપીએ (kPa)) એક પોઝિટિવ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પંપનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. ત્યારબાદ દબાણને 10 ટોર (Torr) (10 એમપીએ (mPa)) સુધી લઈ જવા માટે સ્ટ્રોપ્શન પંપનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. દબાણને વધુ ઘટાડીને 10 ટોર (Torr) (1 µPa) સુધી લઈ જવા માટે ક્રાયોપંપ અથવા ટર્બોમોલેક્યૂલર પંપનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. વધુમાં આયન પંપનો ઉપયોગ થઈ શકે છે જે 10 ટોર (Torr)થી શરૂ થાય છે, અને હિલિયમ અથવા હાઈડ્રોજન જેવા વાયુઓ કે જે ક્રાયોપંપ કે ટર્બો પંપથી પૂરતા પ્રમાણમાં દુર ન કરી શકાતા હોય તેને દુર કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાય છે.

અતિ ઉચ્ચ વેક્યૂમની જરૂર રૂઢિગત બનેલા સાધનો, આકરી સંચાનલ પદ્ધતિઓ, અને ટ્રાયલ-એન્ડ-એરર (પરીક્ષણ અને ક્ષતિ)ની યોગ્ય માત્રામાં હોય છે. અતિ ઉચ્ચ વેક્યૂમ તંત્રો સામાન્યપણે કાટરહિત લોખંડમાંથી બનેલા હોય છે જેમાં ધાતુ-ગેસકિટ યુક્ત મિશ્રિત ફ્લેંજ્સનો ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો હોય છે. આ તંત્રને સામાન્યપણે ગરમ કરવામાં આવે છે, જે વેક્યૂમ હેઠળ વધુ યોગ્ય ગણવામાં આવે છે, જેથી સમગ્ર તંત્રમાં તમામ આઉટગેસિંગ પદાર્થો પર હંગામી ધોરણે બાષ્પનું દબાણ વધારી શકાય અને તેને ઉકાળી શકાય. જરૂર પડે તો, તંત્રના આ આઉટગેસિંગની આ પ્રક્રિયાને ઓરડાના તાપમાને પણ કરવામાં આવે છે, પરંતુ તેમાં ઘણો વધારે સમય લાગે છે. એક વખત મોટા પ્રમાણમાં આઉટગેસિંગ પદાર્થોને ઉકાળ્યા બાદ તેને બહાર કાઢી નાખવામાં આવે પછી, આ તંત્રને ઓછા બાષ્પ દબાણે ઠંડુ કરી શકાય છે જેથી વાસ્તવિક કામગીરી દરમિયાન બાકી રહેલ પદાર્થોનું આઉટગેસિંગ કરી શકાય. કેટલાક તંત્રોમાં ઓરડાના તાપમાનથી ઓછા તાપમાને પ્રવાહી નાઈટ્રોજનની મદદથી ઠંડુ કરી શકાય છે જેથી બાકી રહેલ આઉટગેસિંગને બંધ કરી શકાય અને સાથે સાથે ક્રાયોપંપ તંત્રને પણ બંધ કરી શકાય.

કેટલાક અતિ ઉચ્ચ વેક્યૂમ તંત્રોમાં, કેટલાક ખૂબ જ વિચિત્ર લિકેજ (રિઝાવ)ના રસ્તાઓ અને આઉટગેસિંગના સ્ત્રોતો પણ અચુક રીતે ધ્યાનમાં લેવા જરૂરી છે. એલ્યુમિનિયમ અને પેલેડિયમનું પાણી શોષણ આઉટગેસિંગનો અસ્વીકાર્ય સ્ત્રોત બની જાય છે અને સખત ધાતુઓ જેવી કે કાયરહિત લોખંડ અથવા ટીટાનિયમનું શોષણ પણ ફરજિયાત ધ્યાનમાં લેવું જરૂરી છે. કેટલાક ઓઈલ અને ગ્રીસ પણ ચરમસીમાએ પહોંચેલા વેક્યૂમને ઉકાળી નાખશે. ધાતુના ચેમ્બરની દિવાલોમાં છીદ્રાળુતા પણ ધ્યાનમાં લેવી જોઈએ, અને ધાતુની ફ્લેંજ્સના કણોની દિશા ફ્લેંજ સપાટીની સમાંતર હોવી જોઈએ.

પરમાણુના કદની અસર પણ ધ્યાને લેવી જરૂરી છે. નાના પરમાણુઓ સરળતાથી લિક (રિઝાવ) થઈ શકે છે તેમજ વધુ સરળતાથી ચોક્કસ પદાર્થ દ્વારા શોષાઈ શકે છે, અને મોલેક્યૂલર પંપ ઓછા વજનના પરમાણુ હોય તો ઓછી અસરકારકતા સાથે કામ કરે છે. કોઈપણ તંત્ર ઈચ્છીત વેક્યૂમ માટે નાઈટ્રોજનને (હવાનો મુખ્ય ઘટક) બહાર કાઢવા માટે સક્ષમ હોવુ જોઈએ, પરંતુ ચેમ્બર તો તેમ છતાય બાકી રહેલા વાતાવરણના હાઈડ્રોજન અને હિલિયમથી ભરેલું જ હોવું જોઈએ. ઉચ્ચ વાયુ-પ્રસરણ મટિરિયલ જેમ કે પેલેડિયમ (જે ઉચ્ચ સક્ષમતાનું હાઈડ્રોજન સ્પોંજ (છીદ્રો યુક્ત શોષક) છે) વગેરેથી જોડાયેલી નળીઓ વિશેષ આઉટગેસિંગની સમસ્યાઓ ઉભી કરે છે.

પોઝિટિવ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ
વેક્યૂમ પંપના ઉપયોગો
તકનિકો
પ્રકારો