એક્ઝીમેર લેસર્સ કેમિકલ પ્રતિક્રિયાથી સજ્જ હોય છે, જેમાં "ઉત્તેજિત ડીમર" , અથવા "એક્ઝીમેર" નો સમાવેશ થાય છે, જે ટૂંકુ અસ્તિત્વ ધરાવતું ડિમેરિક અથવા હીટરોડિમેરિક મોલેક્યુલ કે જેની રચના બે જાતિઓ (અણુઓ) દ્વારા થઇ હોય છે, જેમાંનું ઓછામાં ઓછુ એક ઉત્તેજિત ઇલેક્ટ્રોનીક સ્થિતિમાં હોય છે. તે ખાસ કરીને અલ્ટ્રવાયોલેટ પ્રકાશ પેદા કરે છે અને તેનો ઉપયોગ સેમીકન્ડક્ટર ફોટોલિથોગ્રાફી અને લાસિક(LASIK) આંખ વાઢકાપમાં થાય છે. સામાન્ય રીતે ઉપયોગ થતા એક્ઝીમેર મોલેક્યુલસમાં એફ (ફ્લોરાઇન, 157 એનએમ પર સ્રાવ બહાર કાઢે છે), અને (એઆરએફ [193 એનએમ], કેઆરસી1 [222 એનએમ], કેઆરએફ [248 એનએમ], એક્સઇસી1 [308 એનએમ], અને એક્સઇએફ [351 એનએમ])નો સમાવેશ થાય છે. 

કેમિકલ લેસર્સ
એક્ઝીમેર લેસર્સ
સેમીકન્ડક્ટર લેસર્સ
ફોટોનીક ક્રિસ્ટલ લેસર્સ