વેક્યૂમ પંપના પૂરોગામી તરીકે સક્શન પંપને ગણી શકાય, જે રોમનોની એક ઓળખ સમાન હતા. બેવડી કામગીરી કરતા સક્શન પંપો પોમ્પેઈ શહેરમાં શોધાયા હતા. અરેબિક એન્જિનિયર અલ-જઝારીએ પણ 13મી સદીમાં સક્શન પંપનો ઉલ્લેખ કર્યો હતો. તેણે જણાવ્યું હતું કે તેણે તૈયાર કરેલા મોડેલો ગ્રીક ફાયર (એક પ્રકારનું હથિયાર) ફેંકવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતા બિઝાન્ટિન શીફોન કરતા મોટા કદના હતા. બાદમાં 15મી સદીમાં સક્શન પંપો યુરોપના દેશોમાંથી બહાર આવ્યા..

17મી સદીમાં, પાણીના પંપોની રૂપરેખા એવા તબક્કા સુધી સુધારવામાં આવી કે જેમાં આશ્ચર્યજનક રીતે વેક્યૂમ ઉત્પન થતું હતું, પરંતુ તેને તુરંત કોઈ સમજી શક્યું નહોતું. એ વાત બધા જ જાણતા હતા કે સક્શન પંપો અમુક ચોક્કસ ઊંચાઈથી વધારે અંતર સુધી પાણી ખેંચવા માટે સક્ષમ નહોતાઃ 1635ની આસપાસ લેવાયેલા માપ અનુસાર 18 ફ્લોરેન્ટિન યાર્ડ (વાર). (મીટરમાં રૂપાંતરણ અચોક્કસ છે, પરંતુ તે અંદાજે 9 કે 10 મીટર થઈ શકે છે.) આ મર્યાદાઓ તુસ્કેનીના શાસક દ્વારા તૈયાર કરાયેલી સિંચાઈ યોજનાઓ, ડ્રેનેજ (ગટર વ્યવસ્થા) અને સુશોભન માટેના શક્તિશાળી ફુવારાઓ માટે ચિંતાનો વિષય હતી, આથી રાજાએ આ સમસ્યાના નિરાકરણ માટે ગેલિલિયોની નિયુક્તિ કરી. ગેલિલિયોએ આ કોયડો ગેસ્પર બેર્ટી કે જેણે 1639માં રોમમાં પ્રથમ બેરોમીટર બનાવીને તેની નકલ કરી હતી તે સહિતના અન્ય વિજ્ઞાનિકો સમક્ષ મુક્યો હતો. બેર્ટીના બેરોમીટરમાં પાણીના કોલમ (સ્તંભ)ની ઉપર વેક્યૂમ રચાતું હતું પરંતુ તે આમ કેવી રીતે બને છે સમજાવી શક્યો નહોતો. આ દિશામાં મહત્વપૂર્ણ પ્રગતિ 1643માં ઈવાંગેલિસ્ટા ટોર્રીસેલી દ્વારા કરવામાં આવી હતી. ગેલિલિયોની નોંધના આધારે, તેણે મરક્યૂરી (પારાનું) બેરોમીટર તૈયાર કર્યું અને સમજી શકાય તેવી દલીલ કરી હતી કે સૌથી ઉપરના ભાગે જે ખાલી જગ્યા છે તે વેક્યૂમ છે. ત્યારબાદ પાણીની કોલમ (સ્તંભ)ની મર્યાદા એવા મહત્તમ વજન સુધી લઈ જવામાં આવી જ્યાં વાતાવરણનું દબાણ સહાય આપી શકે. કેટલાક લોકો માને છે કે, ટોર્રીસેલીનો પ્રયોગ ઘણો મહત્વપૂર્ણ હોવા છતા, બ્લેઈસ પાસ્કલના પ્રયોગે સાબિત કર્યું હતું કે સૌથી ટોચના ભાગે રહેલી ખાલી જગ્યામાં વેક્યૂમ હોય છે.

1654માં, ઓટ્ટે વોન ગ્વેરિકે પ્રથમ વેક્યૂમ પંપનો આવિષ્કાર કર્યો હતો અને તેનો ખ્યાતનામ મેગ્ડબર્ગ હેમીસ્ફીયર્સ પ્રયોગ કર્યો હતો, જે દર્શાવે છે કે એવા બે ગોળાર્ધો કે જેમાંથી હવા ખેંચી લેવામાં આવે તેને અશ્વોની ટુકડીઓ પરસ્પર વિરુદ્ધ દિશામાં ખેંચે તો પણ છુટા પાડી શકતા નથી. રોબર્ટ બોયલે ગ્વેરિકની ડિઝાઈનમાં સુધારા કર્યા અને વેક્યૂમના ગુણધર્મો પર પ્રયોગો હાથ ધર્યા. રોબર્ટ હૂકે પણ બોયલને વેક્યૂમ ઉત્પન કરવા માટે મદદરૂપ એવા એર પંપ (હવાના પંપ) તૈયાર કરવામાં મદદ કરી હતી. જ્યારે હેન્રીચ ગેસ્સલરે મરક્યૂરી ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પંપ બનાવી અંદાજે 10 પીએ (Pa) (0.1 ટોર) સુધીનું વિક્રમી વેક્યૂમ મેળવ્યું તો 1855 સુધી વેક્યૂમનો અભ્યાસ ખોરંભે મુકાઈ ગયો હતો. સંખ્યાબંધ વીજ સંબંધિત ગુણધર્મો વેક્યૂમના સ્તરે જોઈ શકાય તેવા થઈ ગયા, અને તેના કારણે વેક્યૂમમાં ફરી લોકોને રસ જાગ્યો. આ કારણે વેક્યૂમ નળીનો વિકાસ થયો.

19મી સદીમાં, નિકોલા ટેસ્લાએ એપરેટ્સ (વિજ્ઞાનિક પ્રયોગોનું ઉપકરણ)ની ડિઝાઈન (રૂપરેખા) તૈયાર કરી, એવી સક્ષમતા પામવાની પરિકલ્પના કરી જેમાં ઉચ્ચ કક્ષાની નિકાસ થઈ શકે તેવો સ્પ્રેંગલ પંપ હતો.

વેક્યૂમ પંપનો ઇતિહાસ
જોખમો
મોમેન્ટમ ટ્રાન્સફર
પ્રદર્શનના માપદંડો