Adaptiivinen optiikka
Kuvataan kalvopeilikokoonpano, jonka kalvoa poikkeuttaa sähköstaattisten toimilaitteiden alue, joka koostuu johtavista tyynyistä. Tyypillisten kalvojen valmistusmenetelmä kuvataan, ja siihen kuuluu materiaalin haihduttaminen alustalle tyhjiökammiossa. Perusvärähtelyteorian pohjalta kehitetyt parametriset yhtälöt annetaan transientti- ja vakiotilatoimintakriteerien määrittämiseksi. Kokeelliset tiedot, joissa käytettiin sekä titaani- että nikkelikalvoja, osoittavat, että suorituskyky täyttää ennustetut vaatimukset.