Fluorosilane
# Fluorosilane

Le fluorosilane est un composé chimique de formule $SiH_3F.$ Il se présente sous la forme d'un gaz incolore qui se condense à −98,6 °C en un solide cristallisé dans le système monoclinique, ayant à 96 K le groupe d'espace $P2_1/n$ $(n^o$ 14).

Le fluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du fluorométhane $CH_3F$ avec du silicium, de l'éther de silyle et de méthyle $SiH_3OCH_3$ avec du trifluorure de bore $BF_3$ ou du chlorosilane $SiH_3Cl$ avec du trifluorure d'antimoine $SbF_3$ :

    3 $SiH_3Cl$ + $SbF_3$ ⟶ $SiH_3F$ + $SbCl_3.$

Le fluorosilane peut être utilisé pour déposer des couches de silicium.

