Difluorosilane
# Difluorosilane

Le difluorosilane est un composé chimique de formule $SiH_2F_2.$ Il se présente sous la forme d'un gaz incolore dont le point d'ébullition, de −77,8 °C, est le plus élevé des fluorosilanes. Il se décompose aux températures supérieures à environ 450 °C pour former du trifluorosilane $SiHF_3,$ du tétrafluorure de silicium $SiF_4$ ainsi que d'autres composés.

Le difluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du dichlorosilane $SiH_2Cl_2$ avec du trifluorure d'antimoine $SbF_3$ :

    3 $SiH_2Cl_2$ + 2 $SbF_3$ ⟶ 3 $SiH_2F_2$ + 2 $SbCl_3.$

Cette réaction libère également du tétrafluorure de silicium $SiF_4$ avec de l'hydrogène $H_2.$

Soumis à un arc électrique, les atomes d'hydrogène sont éliminés préférentiellement de la molécule $SiH_2F_2,$ ce qui libère de l'hydrogène $H_2$ en donnant du 1,1,2,2-tétrafluorodisilane $F_2HSi–SiHF_2$ :

    2 $SiH_2F_2$ ⟶ $SiHF_2SiHF_2$ + $H_2.$

À température élevée, le difluorosilane peut se dismuter en échangeant un atome d'hydrogène et un atome de fluor entre deux molécules, ce qui donne du fluorosilane $SiHF_3$ et du trifluorosilane $SiHF_3.$

Le difluorosilane peut être utilisé avec l'ammoniac $NH_3$ pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de couches minces de nitrure de silicium $Si_3N_4.$

