Dichlorosilane
# Dichlorosilane

Le dichlorosilane est un composé chimique de formule $SiH_2Cl_2.$ Il se présente sous la forme d'un gaz incolore d'odeur piquante extrêmement inflammable et susceptible de former des mélanges explosifs avec l'air. Il est principalement utilisé dans l'industrie microélectronique avec l'ammoniac $NH_3$ pour déposer des couches minces de nitrure de silicium $Si_3N_4$ par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) :

    3 $SiH_2Cl_2$ + 4 $NH_3$ → $Si_3N_4$ + 6 HCl + 6 $H_2.$

Il est produit essentiellement par dismutation du trichlorosilane $SiHCl_3$ avec formation parallèle de tétrachlorure de silicium $SiCl_4$ :

    2 $SiHCl_3$ $\rightleftharpoons$ $SiH_2Cl_2$ + $SiCl_4.$
