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| Nanoelectronics | Microscopy | Nanoanalysis | Nanooptics and Nanophotonics
SEMATECH pour Héberger l'Atelier sur la Métrologie de l'Interconnexion 3D
Pour gagner une meilleure compréhension d'à quel point les technologies neuves et existantes de métrologie de disque peuvent être utilisées, modifié, ou amélioré pour mesurer et améliorer les procédés de l'interconnexion 3D, SEMATECH hébergera un atelier consacré à la Métrologie de l'Interconnexion 3D le 15 juillet conjointement avec l'Ouest de SEMICON à San Francisco, CA. Pour explorer plus plus loin des capacités novatrices de métrologie, les participants d'atelier partageront des résultats réels de métrologie de l'interconnexion 3D traitant, discutent des défis de métrologie, et définissent les solutions possibles pour les films et les caractéristiques techniques de mesure de taux de haut-aspect qui dominent les architectures 3D. « Nous devons avoir l'infrastructure de l'outillage 3D disponible et aborder les préoccupations de matériel qui doivent être resolved avant que la fabrication de volume puisse avoir lieu, » ont dit Andrew Rudack, ingénieur des méthodes de matériel du 3D de SEMATECH et présidence d'atelier. « Par le programme d'Interconnexion du 3D de SEMATECH et les ateliers de ce type, participants peut comparer le progrès et développer une estimation aux élans d'intégration, aux architectures de processus, et aux trousses d'outils qui rendront 3D TSVs commercialement viable. » La ligne de haut-parleur est comme suit : Applications de Métrologie d'Activer des Technologies pour le Disque Amincissant, John Moore, Daetec Microscopie d'Acoustique de Lecture pour la Métrologie des Disques Métallisés de l'Interconnexion 3D, James McKeon, Sonix Par L'entremise-Silicium-Par l'intermédiaire (TSV) des Procédés Exigez Macroscopique à la Métrologie Microscopique, Liam Cunnane, Metryx Métrologie Métallisée de Paires de Disque de l'Interconnexion 3D Utilisant la Microscopie d'IR, Richard Poplawski, Olympe-AIE Une Artère Vers des Mesures CD En trois dimensions Non destructives de Par l'entremise-Silicium-Par l'intermédiaire de avec Tomodensitométrie, Steve Wang, Xradia Métrologie Optique pour le Contrôle du Processus de TSV, Matthew Knowles, Zygo Métrologie De non contact de Rapport Hauteur/largeur et Élevée Indépendante de Profondeur du Débit TSV pour la Technologie de l'Interconnexion 3D, David Marx, Tamar L'atelier de demi-journée conclura avec une réunion-débat intitulée « la Métrologie 3D - Il Mesure Vers Le Haut » du ce des foyers sur l'état de préparation des outils de métrologie pour supporter des défis de l'intégration 3D. Le programme du 3D de SEMATECH a été déterminé pour fournir des 300 millimètres robustes des solutions techniques de matériel et de procédé pour à fort débit par l'entremise-silicium-par l'intermédiaire (TSV) de la fabrication. Pour accélérer le progrès, les ingénieurs du programme avaient travaillé en commun avec des fabricants de circuits intégrés, des fournisseurs de matériel et de matériaux, et assemblage et des compagnies de service d'emballage de partout dans le monde sur des défis de développement précoce, y compris le coût modélisant, l'option de technologie se rétrécissant, et le développement des technologies et évaluation. Le programme de SEMATECH 3D a également été accord d'industrie du bâtiment par les ateliers 3D de prise en charge et la participation prolongée d'ITRS. L'Atelier de Métrologie de l'Interconnexion 3D fait partie de la Suite de la Connaissance de SEMATECH, un ensemble de public, contacts unique-orientés d'industrie conçus pour augmenter la connaissance globale dans les zones clé de R&D de semi-conducteur. Pour plus d'informations sur l'atelier de Juillet, y compris l'inscription et d'autres informations importantes, visite http://www.sematech.org/meetings/announcements/8736/. Pour voir une liste complète de tous les contacts dans cette suite, allez à www.sematech.org/meetings/sks.htm. Pendant plus de 20 années, SEMATECH® a réglé le sens global, collaboration flexible activée, et a jeté un pont sur la R&D stratégique à la fabrication. Aujourd'hui, nous continuons d'accélérer la prochaine révolution technologique avec nos associés de nanoelectronics et de technologie émergente. Download PDF CopyView Supplier Profile