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Système du VECTEUR PECVD de Bateaux de Novellus 1000th à GLOBALFOUNDRIES
Published on February 1, 2010 at 6:21 PM
Systèmes de Novellus (NASDAQ : NVLS) a aujourd'hui annoncé qu'il a expédié le système de déposition de vapeur chimique plasma-amélioré du 1000th VECTEUR (PECVD) de la compagnie à 7 Ouvriers de GLOBALFOUNDRIES à Singapour. Un premier fournisseur de la technologie manufacturière avancée de semi-conducteur, GLOBALFOUNDRIES a récent intégré les fonctionnements de la Fabrication de Semi-conducteur Chartered, et utilisera le VECTEUR Express™ de l'étape 300mm pour la fabrication à fort débit au noeud de la technologie 65nm et au-delà dans 7. Ouvriers. Initialement introduit en juillet de 2000, le système de VECTEUR est cheval de labour de fabrication employé pour déposer un large éventail d'applications diélectriques. Dans l'avant-fin-de-line (FEOL), le VECTEUR est employé pour déposer des espaceurs de porte et les recouvrements, les films élevés de stress pour tendre le silicium, le carbone amorphe et les couches anti-réfléchies, les films durs de masque et gravure à l'eau forte arrêtent des couches. les applications (BEOL) de De retour-fin-de-Line comprennent des diélectriques d'inter-métal et de couche intermédiaire, des films de cuivre de barrage de diffusion, des couches recouvrantes faibles de constante diélectrique, et des couches finales de passivation. Récent, le VECTEUR est utilisé pour des applications diélectriques apparaissantes, telles que des couches très réduites de films et de diélectrique de la constante diélectrique (ULK) utilisées dedans par l'entremise-silicium-par l'intermédiaire (TSV) de la technologie du conditionnement. L'acceptation intense du vecteur sur le marché de fabrication de semi-conducteur est un résultat de la productivité du capital élevée du produit, de l'installation faible et des frais d'exploitation, empreinte de pas de système réduit, répétabilité élevée de disque-à-disque et, performance unique de défaut de chiffre dans les dimensions des particules de sub-100 nanomètre. « La plate-forme de VECTEUR de Novellus est utilisée dans la production à fort débit à 65nm et dans les noeuds avancés de la technologie 45/40nm dans 7 Ouvriers pour des applications diélectriques de FEOL et de BEOL, » a dit Peter Benyon, chef des 7 fonctionnements Ouvriers à GLOBALFOUNDRIES. « Nous attendons avec intérêt de continuer notre partenariat avec Novellus en se développant rentable, solutions technologiques avancées pour aider nos abonnées rapidement à porter leurs designs novateurs pour lancer sur le marché. » « Nous sommes très heureux de commémorer cette expédition d'étape avec l'acceptation de la compagnie de notre 1000th outil, car Privilégiée devient une partie du GLOBALFOUNDRIES neuf, » a dit Kevin Jennings, vice-président principal de l'unité commerciale du PECVD de Novellus. « Chartered a acheté son premier système de VECTEUR en 2004, et avait longtemps été une abonnée importante de Novellus. Nous espérons développer également une relation étroite avec GLOBALFOUNDRIES. » Novellus Systems, Inc. (Nasdaq : NVLS) est un premier fournisseur de matériel de processus avancé pour l'entreprise de semiconducteurs globale. Les produits de la compagnie fournissent la valeur aux abonnées en fournissant la technologie novatrice reculée par la productivité de confiance. Une compagnie de S&P 500, Novellus est siégée dans San Jose, Californie avec les bureaux auxiliaires en travers du globe. Download PDF CopyView Supplier Profile