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| Nanofabrication
KLA-Tencor Introduit la Configuration Neuve de la Plate-forme de Surfscan SP3 avec la Capacité de 450mm
Par Volonté Soutter Les solutions fournisseur, KLA-Tencor Corporation de management de Contrôle du processus et de rendement a installé le premier de sa nouvelle gamme de systèmes à régulation de processus pour des disques de 450 millimètres. L'outil est le dernier ajout à la plate-forme de Surfscan SP3 et est étiqueté comme Surfscan SP3 450. SP3 Surfscan Le système non-modelé d'examen de disque est complet automatisé et est entièrement capable de l'adhérence aux conditions rigoureuses de qualité extérieure et de contrôle de défaut de 20 procédés de noeud de nanomètre. Le système offre ainsi le contrôle significatif de 450 millimètres de silicium et de fabrication épitaxiale de substrat de silicium. Le SP3 450 peut également être utilisé vers le haut dans la fabrication des outils utilisés dans le procédé de 450 millimètres tel que des outils de dépôt de film, des tampons de CMP, des outils propres mouillés, des systèmes et des boues d'émoulage recuisantes et des polisseurs. Hans Lebon, gestionnaire de fabrication au centre de recherche de nanoelectronics de Louvain, imec, a déclaré que le SP3 450 est un outil indispensable pour le passage de l'industrie à 450 millimètres et aiderait l'imec en recensant des délivrances d'adoucissement indépendamment de surveiller la qualité extérieure du disque. Ali Salehpour, VP Supérieur et Directeur Général de la Division de Surfscan chez KLA-Tencor a préconisé l'utilisation de la plate-forme SP3 en travers des disques de 300 millimètres et de 450 millimètres de faciliter 20 procédés de noeud de nanomètre. Il a déclaré que SP3 est le seul système à régulation de processus non-modelé sur le marché capable de fournir des images de haute résolution de la qualité extérieure et du seul genre pour utiliser l'illumination de sensibilité-activation (DUV) d'ultra violet profond. La compagnie a déjà reçu de nombreuses commandes des premiers constructeurs variés de circuits intégrés et de substrats. La plate-forme SP3 est disponible dans 300mm-only et 300 configurations de passerelle de mm/450 millimètre. Source : http://www.kla-tencor.com