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Molecular Flow Module
Pour la Simulation des Ecoulements de Gaz à Basse Pression dans les Systèmes sous Vide
Dans un implanteur ionique, la densité volumique moyenne de molécules dégazées dans la trajectoire du faisceau sert de facteur de mérite pour évaluer le design. Il doit être calculé en fonction d'un angle lié au wafer, avec une rotation autour d'un axe.
Simulation Précise des Ecoulements à Basse Pression