Triméthylsilane
# Triméthylsilane

Le triméthylsilane est un composé chimique de formule $SiH(CH_3)_3.$ Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse, très inflammable, susceptible de s'enflammer spontanément en présence d'impuretés et formant des mélanges explosifs avec l'air. Il peut être produit en réduisant le chlorure de triméthylsilyle $SiCl(CH_3)$ avec un réducteur approprié, comme l'aluminohydrure de lithium $LiAlH_4$ :

    4 $SiCl(CH_3)$ + $LiAlH_4$ ⟶ 4 $SiH(CH_3)_3$ + LiCl + $AlCl_3.$

Il peut être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de diélectriques ou de barrières de diffusion (en) par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD).

