title: Puhdastila
context: Pääasialliset säädettävät parametrit ovat vaihtuvan ilman määrä, ilmankosteus ja lämpötila. Näitä suureita valvotaan monitorointijärjestelmän avulla. Puolijohdeteollisuudessa seurataan myös tilaan tuotavan ilman partikkelien määrää ja kokoa. Standardin ISO-14644, osassa 1 on esitetty suurimmat sallittu partikkelikoot ja määrät. Puhtausluokkia on 9 kappaletta (ISO 1, ISO 2 jne...), ISO 1:n ollessa puhtain luokka. Laajalti käytetyssä Yhdysvaltalaisessa luokittelussa (Federal Standard 209) merkinnät, esimerkiksi 100, joka on hyvin puhdas, tarkoittaa että kyseisessä tilassa on suurempia kuin 0,5 μm partikkeleita korkeintaan 100 kpl kuutiojalassa. Tästä luokittelutavasta pyritään kuitenkin eroon, koska Yhdysvalloissakin on ratifioitu ISO-standardin mukaiset luokittelutavat. Yhdysvaltalaisen ja ISO vastaavuus on seuraava: ISO 3 = FED STD 209 1, ISO 4 = 10, ISO 5 = 100 jne. ISO-standardi sisältää 2 FED STD 209 tiukempaa puhtausluokkaa. Luokittelutavoilla pyritään yhdenmukaistamaan luokittelua, joka on hyvin vaihtelevaa. Vertailun vuoksi on hyvä tietää, että normaalissa huonetilassa partikkeleita on miljoonia. Rakenteeltaan puhdastilat ovat sellaisia, että käynti puhtaamman luokan tiloihin tapahtuu aina edellisen puhtausluokan tiloista.
question: Mitkä ovat puhdastilojen pääasialliset säädettävät parametrit?
answers: vaihtuvan ilman määrä, ilmankosteus ja lämpötila