text: Ein Pionier auf dem Vakuumpumpenmarkt. Mit Schwerpunkt auf eine erhöhte Betriebszeit Erfordert die A 100 L keine präventive Wartung vor Ort und bietet die höchste Zuverlässigkeit in ihrer Klasse, mit einer MTBF von über 195,000 Stunden.
  Führend auf dem Markt für integrierte Trockenpumpen
  Hohes Saugvermögen 100 m3/h
  Die Pumpe ist mit einem Kühlwasserkreislauf ausgestattet
  Hohe Pumpzyklusfrequenz in der Schleusen-und Transferkammer
  Hohes Saugvermögen 200 m3/h
  Zubehör für kompakte Load Lock Pumpe
  Integrierte Pumpen für anspruchsvolle Pumpprozesse
  Pfeiffer Vacuum beweist einmal mehr seine weltweit führende Stellung im Markt für integrierte Pumpen und präsentiert mit der A 200 L ein Produkt in der 200 m3/h-Klasse für Anwendungen mit hohem Durchsatz und häufigen Pumpzyklen. Mit der A 100 L in der 100 m3/h-Klasse und der A 200 L in der 200 m3/h-Klasse bietet Pfeiffer Vacuum eine komplette Serie für alle Schleusen- und Transferkammern.
  Pumpen auf dem neuesten Stand der Technik
  Die Prozesspumpen A 100 L haben seit ihrer Markteinführung die Integration von Pumpen in Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie revolutioniert. Basierend auf der Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und trotz ihrer geringen Abmessungen bieten die Pumpen hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind integrierte saubere Prozesspumpen Stand der Technik und die A 200 L-Serie ist weltweit in vielen 300 mm-Halbleiterfabriken installiert.
  Integrierte Pumpen – nicht nur für die Halbleiterindustrie
  Geringe Schallemissionen und Vibrationen sind weitere Vorteile. Wie bei der ACP-Baureihe können diese kompakten Pumpen für die Rückgewinnung oder Wiederverwendung hochwertiger Gase eingesetzt werden. Die geringen Abmessungen garantieren eine einfache Integration in Produktionsanlagen.