text: NanoFocus: μscan select – Optisches 3D-Profilometer
  Flexibles 3D-Profilometer für die Qualitätskontrolle
  Mit der NanoFocus µscan-Technologie messen Sie bis zu 100-mal schneller als mit herkömmlichen Tastsystemen. Das spart Zeit und senkt die Kosten.
  Der Aufbau auf Granit und die Verwendung erstklassiger Komponenten garantieren eine hohe Wiederholgenauigkeit der Messungen. Die Vermessung großer und schwerer Proben ist problemlos möglich. Das µscan select ist voll automatisierbar und kann über industrietaugliche Schnittstellen komfortabel in Qualitätssicherungsprozesse eingebunden werden.
  Das 3D-Profilometer µscan select hat sich bei der Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke im Produktionsprozess vielfach bewährt.
  Die modulare Bauweise und Kombinierbarkeit verschiedener Sensoren ermöglicht eine Anpassung an viele unterschiedliche Messaufgaben. Der manuelle z-Versteller mit Feinjustage garantiert einen hohen Bedienkomfort. Alternativ steht auch eine motorisierte z-Achse zur Verfügung.
  Maximale Flexibilität dank multikompatibler Sensorhalterung
  Die Sensorhalterung im Inneren des Messkopfes ist für die flexible Aufnahme zahlreicher Sensoren konzipiert. Sensoren können einfach und schnell in die Halterung gesteckt werden. So ist ein Nachrüsten oder Austausch von Sensoren denkbar einfach. Das bietet maximale Kombinationsmöglichkeiten beim Einsatz der geeignetsten Sensortechnologie.
  Heute wird eine Vielzahl unserer optischen 3D-Profilometer als Industriestandard eingesetzt, wo früher noch Tastschnittverfahren mit den bekannten Nachteilen eingesetzt wurden. Einer der Anwendungsschwerpunkte ist die Mikroelektronik. Die µscan-Profilometer sind ideal geeignet für das schnelle und automatische Erfassen von Warpage, Lead- und BGA-Koplanarität, Lasermarking oder Lotpastenvolumen. Die berührungslose Arbeitsweise erlaubt auch die Messung an frisch gedruckten Lotpasten. Auch die Messung von Schichtdicken auf Keramiksubstarten oder Substratdurchbiegung und Siebdehnung messen die optischen 3D-Profilometer automatisiert. Weiter werden die flexiblen µscan-Profilometer etwa in der Feinbearbeitung zur Messung von Form, Welligkeit und Rauheit nach DIN EN ISO an bearbeiteten Metall- und Kunststoffteilen sowie Halbleitermaterialien eingesetzt.
  Erodierwerkzeuge
  Das optische Profilometer µscan custom überprüft die Geometrie und ermittelt die Oberflächenrauheit nach DIN EN ISO. Details zur Anwendung
  Erfassen Sie die Oberflächengeometrien der Bespannung von Papiermaschinen berührungslos mit dem Profilometer µscan custom. Details zur Anwendung
  Siebdruck auf Keramiksubstraten
  Mit dem optischen Profilometer µscan custom können Substratverwölbung sowie die Leiterbahngeometrie in nur einem Messprozess erfasst werden. Details zur Anwendung