Gerät, das speziell für die Ionenimplantation bzw. für die mit Ionen oder Photonen verstärkte Diffusion entwickelt wurde und eine der folgenden Eigenschaften aufweist:
Matériel spécialement conçu pour l'implantation ionique et la diffusion renforcée par ionisation ou photo-ionisation et présentant l'une des caractéristiques suivantes :