גודל החלקיקים לא אחידה והפצה גודל החלקיקים הומוגניות גורמת נזקים חמורים אל פני השטח המלוטשים במהלך תהליך CMP.
פיזור אולטרה סאונד הוא טכניקה מעולה להתפזר deagglomerate חלקיקי ליטוש בגודל ננו.
פיזור אחיד מושגת על ידי תוצאות sonication בעיבוד CMP מעולה של משטחים הימנעות שריטות ופגמים עקב דגנים גדולים.
ננו-חלקיקים נפוצים abrasiveness כוללים פחמן דו silicum (סיליקה, SiO2), תחמוצת cerium (ceria, מנכ"ל2), תחמוצת אלומיניום (אלומינה, אל2הו3), Α- ו y-Fe203, Nanodiamonds בין היתר. על מנת למנוע ניזקים על המשטח המלוטש, החלקיקים השוחקים חייבים להיות בעל צורה אחידה והפצת גודל גרגר צרה. גודל החלקיקים הממוצע נע בין 10 לבין 100 ננומטר, תלוי בניסוח CMP והשימוש בו.
פיזור קולי הוא ידוע לייצר מדים, תפוצות יציבות לטווח ארוך. Ultrasonic cavitation ו כמה כוחות גזירה את האנרגיה הדרושה לתוך ההשעיה כך agglomerates מחולקות, ואן כוחות ואלס להתגבר ואת חלקיקים שוחקים מפוזרים באופן אחיד. עם sonication אפשר להקטין את גודל החלקיקים בדיוק לגודל גרגר ממוקד. על ידי עיבוד קולי אחיד של התרחיף, דגנים ענקיים והפצת גודל אחידה יכולים להתבטל – הבטחת שיעור הסרת CMP רצויה תוך מזעור קר סריטות.
לפני ואחרי sonication: העקומה הירוקה מראה את גודל החלקיקים לפני sonication, עקומת אדום היא התפלגות גודל החלקיקים של סיליקה מפוזר באולטרסאונד.
ערבוב ומיזוג אולטרסאונד משמש בתעשיות רבות לייצר השעיות יציבות עם צמיגות נמוכה עד גבוהה מאוד. על מנת לייצר והכלומניקים CMP אחידים ויציבים, החומרים השוחקים (סיליקה למשל, חלקיקי ceria, α- ו y-Fe203 וכו '), תוספים וכימיקלים (חומרי אלקליין לדוגמה, מעכבי חלודה, מייצבים) מפוזרים לתוך נוזל הבסיס (מים מטוהרים למשל).
במונחים של איכות, עבור והכלומניקים ליטוש ביצועים גבוהים הוא חיוני, כי ההשעיה מציגה יציבות לטווח ארוך חלוקת חלקיקים אחידה מאוד.
פיזור וגיבוש Ultrasonic מספק את האנרגיה הדרושה כדי deagglomerate ולהפיץ את הסוכנים פוליש שוחקים. יכולת שליטה מדויקת של פרמטרי עיבוד הקוליים לתת תוצאות טובות ביותר על יעילות ואמינות גבוהות.
Hielscher Ultrasonics supplies high-power ultrasonic systems for the dispersion of nano-sized materials such as silica, ceria, alumina and nanodiamonds. Reliable ultrasonic processors deliver the required energy, sophisticated ultrasonic reactors create optimal process conditions and the operator has precise control over all parameters, so that the ultrasonic process results can be tuned exactly to the desired process goals (such as grain size, particle distribution etc.).
אחד הפרמטרים החשובים ביותר בתהליך הוא משרעת הקולי. Hielscher של מערכות אולטראסאונד תעשייתיות יכול לספק גבוהה מאוד אמפליטודות מהימנה. אמפליטודות של עד 200μm ניתן להפעיל באופן רציף בקלות 24/7 המבצע. היכולת להריץ אמפליטודות גבוהה כגון להבטיח שגם מאוד מטרות תהליך תובעני יכולה להיות מושגת. כל מעבדי הקולי שלנו יכולים להיות מותאמים בדיוק לתנאי התהליך נדרשים פיקוח בקלות דרך התוכנה המובנית. הדבר מבטיח אמינות גבוהה, איכות עקבית תוצאות לשחזור. איתנות ציוד אולטרסאונד של Hielscher מאפשרות 24/7 המבצע בשעה כבדה בסביבות בדרישה.
Mondragon Cazorla ר, ג'וליה E. ג'יי בוליבר, חואן ברבה א, Jarque Fonfría J.C. (2012): אפיון של nanofluids סיליקה-המים מפוזרים עם בדיקת אולטרסאונד: מחקר של המאפיינים והיציבות הפיסיים שלהם. כרך טכנולוגית אבקה. 224, 2012.
פוהל M., שוברט H. (2004): פיזור deagglomeration של חלקיקים בתמיסות מימיות. PARTEC, 2004.
כימי-מכני ליטוש / planarization (CMP) slurries משמש כדי להחליק משטחים. את slurry CMP מורכב מרכיבים כימיים מכני-שוחקים. ובכך, CMP ניתן לתאר שיטה בשילוב של תחריט כימי פוליש שוחק.
השעיות CMP נמצאים בשימוש נרחב כדי ללטש ולהחליק את תחמוצת סיליקון, סיליקון פולי ואת משטחי מתכת. במהלך תהליך CMP, הטופוגרפיה יוסר משטח רקיק (מוליכים למחצה לדוגמה, סולארי ופלים, רכיבים של מכשירים אלקטרוניים).
על מנת לקבל ניסוח CMP ארוך טווח ויציב, פעיל שטח מתווסף לשמור על החלקיקים בתרחיף הומוגנית. בדרך כלל סוכנים בפיזור בשימוש יכול להיות קטיוני, anionic, או nonionic וכוללים סולפט dodecyl נתרן (SDS), צטיל פירידיניום כלוריד (CPC), מלח נתרן של חומצה capric, נתרן מלח של חומצה lauric, נתרן גופרתי decyl, נתרן גופרתי hexadecyl, ברומיד hexadecyltrimethylammonium (ג16TAB), ברומיד dodecyltrimethylammonium (C12TAB), טריטון X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Symperonic A4, A7, A11 ו- A20.