ولد بنزيوس في ميونيخ، ألمانيا، وهو ابن جوستين (مواليدة ايزنريخ) وكارل بنزيوس، والذي كان يدير شركة جلدية. جاء جده إلى ميونيخ من بولندا وكانوا من بين قادة ريشينباخ ستراس شول. في سن السادسة، كان هو وشقيقه غونثر من بين الأطفال اليهود الذين تم إجلاؤهم إلى بريطانيا كجزء من عملية إنقاذ كيندر ترانسبورت. بعد فترة من ذلك، فر والديه من ألمانيا النازية إلى الولايات المتحدة، واستقرت العائلة في مقاطعة جارمنت في مدينة نيويورك في عام 1940. في عام 1946، أصبح بنزيوس مواطنًا أمريكيًا. تخرج من مدرسة بروكلين التقنية الثانوية في عام 1951 وبعد التسجيل لدراسة الكيمياء في مدينة نيويورك، تغير التخصصات وتخرج في عام 1954 بدرجة فيزياء.
مدرسة بروكلين التقنية الثانوية