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  1740年,普鲁士腓特烈大帝在奥地利王位继承战争(1740-1748年)之中绝大部分的西里西亚合并到普鲁士版图之内。战争完结的时候,普鲁士已经占领了西里西亚的大部分,只有东南方的一小部分仍然属于奥地利,例如切申公国和奥帕瓦公国,成为奥地利的奥属西里西亚。  七年战争 (1756年-1763年)中确认了普鲁士对西里西亚的统治,成为了普鲁士的王家领土。1815年拿破仑战争之后确立了普鲁士的西里西亚领土。西里西亚战争时期,普鲁士将占领到的西里西亚的土地和曾属萨克森王国,邻近格尔利茨的上卢萨蒂亚地区一同组成西里西亚省。  作为普鲁士的一个省分,西里西亚于1871年普鲁士领导德意志统一之后,成为了德意志帝国的一部分。之后西里西亚开始进行工业化,并引来大批人口迁入。根据1905年的资料,西里西亚三分之一人口是德国人,而奥德河以东居住的大部分是波兰人。  在第一次世界大战之后,部分的西里西亚地区被割让到波兰第二共和国和捷克斯洛伐克。1919年,仍属于魏玛共和国的西里西亚地区版分为下西里西亚("Niederschlesien")及上西里西亚("Oberschlesien")。在1938年至1941年之间,下西里西亚和上西里西亚曾再度合并为同一省分。  现时西里西亚的大部分的地区都属于波兰的国土,这些地区的大部分德国人口在二战后被种族清洗。有一小部分的西里西亚地区现时仍属德国领土。
西里西亚省(; )是1815年至1919年之间普鲁士的一个省分; 该省的领土是普鲁士于18世纪的时候,西里西亚战争之中,从哈布斯堡王朝手上夺得的。西里西亚省的首都是布雷斯劳。在1919年魏玛共和国时期,西里西亚省分为上西里西亚和下西里西亚省。1938至1941年期间,两省又曾重新合并。