参考下面的段落,然后以相同的语言回答问题: 段落: 互补金属<unk>氧化<unk>半导体 (CMOS) 是一种用于构建集成电路的技术. CMOS 技术用于微处理器,微控制器,静态 RAM 和其他数字逻辑电路. CMOS 技术也用于许多模拟电路,如图像传感器 (CMOS 传感器),数据转换器和多种通信类型的高度集成收发器. 弗兰克·万拉斯在 1963 年在费尔查尔德半导体公司发明了 CMOS,并于 1967 年获得了 3,356,858 项美国专利. 在这项突破性的专利中, CMOS 设备的制造概述了,基于<unk>基质的热氧化,以产生位于接触排水和接触源之间的一层二氧化<unk>. 弗兰克·万拉斯公司发明了什么?
费尔查尔德半导体公司