Aflinn er venjulega kísil eða kísilnitríð með beygingarradio á endann á nanometrum. Þegar endinn er færður í nálægð við sýnishorn yfirborð leiða kraftar á milli endans og sýnishornsins til beygingar aflinns samkvæmt Hooke lögmáli. Það fer eftir aðstæðum, kraftar sem mældar eru í AFM eru m.a. vélleg snertingarkraftur, van der Waals kraftar, kapillárkraftar, efnabindingarkraftar, rafstöðugir kraftar, segulkraftar (sjá segulkrafta í smásjá, MFM), kraftar, loðnunaraðir, osfrv.
sílíum eða sílíumnitríði