A súa primeira relación con Brigitte Stütze produciu tres fillos, dous fillos e unha filla, e terminou en divorcio en 1966. El e a súa segunda esposa, Irmgard Elsa Kaul, tiveron unha filla, Carolin Masur, que se converteu nunha cantante de ópera. Irmgard Masur morreu en 1972 nun accidente de coche no que Masur foi gravemente ferido.
tres