O AFM consiste nun cantilever cunha punta afiada (sonda) no seu extremo que se usa para escanear a superficie da mostra. O cantilever é normalmente de silicio ou nitruro de silicio cun raio de curvatura da punta da orde dos nanómetros. Cando a punta é traída á proximidade dunha superficie da mostra, as forzas entre a punta e a mostra levan a unha desviación do cantilever de acordo coa lei de Hooke. Dependendo da situación, as forzas que se miden no AFM inclúen forza de contacto mecánica, forzas de van der Waals, forzas capilares, forzas de enlace químicas, forzas electrostáticas, forzas magnéticas (ver forza magnética microscopio, MFM), forzas de solvación, etc.
silicio ou nitruro de silicio