Despois da extinción da dinastía de Luxemburgo, o ducado pasou á Casa de Valois-Burgundy en 1443, e despois ao Arquiducado de Austria en 1482. Foi integrado no Círculo Borgoñón do Sacro Imperio Romano Xermánico, polo emperador Carlos V na Pragmática Sanción de 1549. Durante as guerras revolucionarias francesas
, Luxemburgo foi anexado ao departamento de Forêts. Tras un acordo no Congreso de Viena de 1815, parte do territorio do antigo ducado converteuse no Gran Ducado de Luxemburgo baixo o dominio, pero non parte, do Reino dos Países Baixos, despois do cal se uniu á Confederación Alemá.