اشار للفقرة اللي تحت، و بعد جاوب على السؤال بعدين بنفس اللغة اللي فيها الفقرة:  الممر: يحتوي جهاز التحكم في الطيران على مستوى معطوب بجهة حادة (الجهاز) في نهايتها، والتي تستخدم في مسح سطح العينة. عادةً ما يكون السيليكون أو نيتريد السيليكون مع نصف قطر الانحناء على النظام النانومتر. عندما يتم إحضار الطرف بالقرب من سطح العينة، تؤدي القوى بين الطرف والعينة إلى انحدار الرفرف وفقاً لقانون هوك. ووفقًا للوضع، تشمل القوى التي يتم قياسها في AFM قوة الاتصال الميكانيكي، وقوى فان دير فالز، وقوى الشعيرات، والربط الكيميائي، والقوى الكهربائية، والقوى المغناطيسية (انظر مجهر القوة المغناطيسية، MFM) ، وقوى كازيمير، وقوى الحل، إلخ. جنبًا إلى جنب مع القوة، يمكن قياس كميات إضافية في وقت واحد من خلال استخدام أنواع متخصصة من المسارات (انظر المجهر الحراري المسح، المجهر التوسع جوول المسح، المجهر الطيفي الضوئي، إلخ).  السؤال: من أيش كيتصنع عادة الصفيحة؟
السيليكون أو نيتريد السيليكون