AFM dumadi saka kantilever kanthi pucuk sing landhep (sonda) ing pucuk sing digunakake kanggo mindhai permukaan spesimen. Kantilever biasane silikon utawa silikon nitrida kanthi radius kurva pucuk ing urutan nanometer. Nalika pucuk kasebut digawa menyang permukaan sampel, kekuwatan ing antarane pucuk lan sampel nyebabake penyimpangan kantilever miturut hukum Hooke. Gumantung saka kahanan, kekuwatan sing diukur ing AFM kalebu gaya kontak mekanik, pasukan van der Waals, pasukan kapiler, pasukan ikatan kimia, pasukan elektrostatik, pasukan magnetik Casimir (deleng pasukan magnetik mikroskop, MFM), pasukan solvation, lsp. Kanthi kekuwatan sing bisa diukur kanthi nggunakake jinis probe pemindaian termal khusus (deleng spektroskopi panas, mikroskop Joulectry, lsp.
silikon utawa silikon nitrida