المقطع: المقطع عادةً ما يكون من السيليكون أو نيتريد السيليكون مع نصف قطر انحناء الطرف على مقياس النانو. لما يتم إحضار الطرف بالقرب من سطح العينة، فالقوى بين الطرف والعينة تؤدي إلى انحناء المقطع وفقًا لقانون هوك. حسب الحالة، القوى التي تقاس في AFM تشمل القوة الميكانيكية التلامسية، قوى فان دير فالز، القوى الشعرية، القوى الكيميائية الرابطة، القوى الكهرومغناطيسية، القوى المغناطيسية (انظر القوة المغناطيسية المجهرية، MFM) ، قوى كازمير، قوى الحل، إلخ. يمكن قياس كميات القوة في وقت واحد من خلال استخدام أنواع إضافية من المسح الضوئي المتخصصة (انظر المجهر الضوئي، المجهر الضوئي التوسع الحراري، إلخ).
السيليكون أو نيتريد السيليكون