-थर्मल ऑक्सिडेशन -फोटोमास्क/फोटोलिथोग्राफी - खोदकाम (मुख्यतः प्लाझ्मा खोदकाम) -प्रसार/डोपिंग
या परिच्छेदाच्या आधारे, कृपया एकात्मिक सर्किट (आयसी) साठी अर्धवाहक साहित्य तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणार्या प्रक्रियेची बुलेट पॉईंट यादी द्या.
Context:आयसीसाठी सेमीकंडक्टिंग मटेरियल तयार करण्यासाठी प्रक्रियांचे संयोजन वापरले जाते. एका प्रक्रियेला थर्मल ऑक्सिडेशन म्हणतात, ज्यामुळे सिलिकॉनच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन डायऑक्साइड तयार होतो. याचा वापर गेट इन्सुलेटर आणि फील्ड ऑक्साईड म्हणून केला जातो. इतर प्रक्रियेला फोटोमास्क आणि फोटोलिथोग्राफी असे म्हणतात. ही प्रक्रिया आहे जी एकात्मिक सर्किटमध्ये सर्किटवर नमुने तयार करते. अल्ट्राव्हायोलेट प्रकाशाचा वापर फोटोरेसिस्ट लेयरसह रासायनिक बदल तयार करण्यासाठी केला जातो ज्यामुळे सर्किटचे नमुने तयार होतात.  एटिंग ही पुढील प्रक्रिया आहे जी आवश्यक आहे. आधीच्या टप्प्यातील फोटोरेसिस्ट लेयरने झाकलेला नसलेला सिलिकॉनचा भाग आता खोदला जाऊ शकतो. आज वापरली जाणारी मुख्य प्रक्रिया म्हणजे प्लाझ्मा एटिंग. प्लाझ्मा इटिंगमध्ये सामान्यतः प्लाझ्मा तयार करण्यासाठी कमी दाबाच्या कक्षात इटिंग गॅस पंप केला जातो. एक सामान्य इच गॅस म्हणजे क्लोरोफ्लोरोकार्बन, किंवा अधिक सामान्यतः फ्रेन. कॅथोड आणि एनोड यांच्यातील उच्च रेडिओ-वारंवारता व्होल्टेजमुळे चेंबरमध्ये प्लाझ्मा तयार होतो. सिलिकॉन वेफर कॅथोडवर स्थित आहे, ज्यामुळे ते प्लाझ्मामधून सोडल्या जाणार्या सकारात्मक चार्ज केलेल्या आयनद्वारे मारले जाते. परिणामी सिलिकॉन बनते जे अनिसोट्रोपिकली कोरलेले असते.  शेवटच्या प्रक्रियेला प्रसार म्हणतात. ही अशी प्रक्रिया आहे जी अर्धवाहक सामग्रीला त्याचे इच्छित अर्धवाहक गुणधर्म देते. याला डोपिंग असेही म्हणतात. या प्रक्रियेमुळे प्रणालीमध्ये एक अशुद्ध अणूचा परिचय होतो, ज्यामुळे p<unk>n जंक्शन तयार होते. अशुद्ध अणूंना सिलिकॉन वेफरमध्ये समाविष्ट करण्यासाठी, वेफरला प्रथम 1,100 अंश सेल्सिअसच्या खोलीत ठेवले जाते. अणू इंजेक्ट केले जातात आणि अखेरीस सिलिकॉनसह पसरतात. प्रक्रिया पूर्ण झाल्यानंतर आणि सिलिकॉन खोलीच्या तापमानापर्यंत पोहोचल्यानंतर, डोपिंग प्रक्रिया पूर्ण होते आणि अर्धवाहक सामग्री एकात्मिक सर्किटमध्ये वापरण्यासाठी तयार असते.