Bitte erzeugen Sie eine JSON-Darstellung der Prozessgase, die für die amorphe Kohlenstoffabscheidung in PECVD verwendet werden, wobei die Molekularformel als Schlüssel, der in der Beschreibung enthaltene Gasname und ein "Dep-Rate"-Schlüssel die wahrscheinlichste Wirkung auf die Kohlenstoffabscheidungsrate nach Erhöhung des Gasanteils in einem Prozess (mit Werten von "Erhöhung", "Abnahme" oder "Ungleichgewicht") angeben.
Hier ist die JSON-Versuchsart: {`` json: { "amorpher Kohlenstoff PECVD": { "CH4": { "Beschreibung": "Methangas", "Dep-Rate": { "Erhöhung": 8 }, "C2H2": { "Beschreibung": "Acetylengas", "Dep-Rate": { "Erhöhung": 7 }, "Propangas", "Dep-Rate": { "Erhöhung": 5 }, "Ar": "Argongas", "Dep-Rate": { "Erhöhung": 2 }, "H2": { "Erhöhung": 5 }, "Ar": "Erhöhung": "Argongas", "Dep-Rate": "Erhöhung" : "N2 }.